[实用新型]一种筒状多晶硅铸锭石墨热场

权利要求书

1.一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，包括炉体(1)、反射圈(6)、加热器(11)和密封板(15)，其特征在于：所述炉体(1)的顶端设置有上封盖(2)，所述炉体(1)外壁的顶端均匀设置有散热通孔(3)，所述炉体(1)内部的底端设置有炉底护盘(4)，所述炉体(1)内部底端的中间位置处固定安装有坩埚轴(5)，所述炉底护盘(4)上的炉体(1)内部固定安装有反射圈(6)，所述反射圈(6)内部的底端设置有反射底盖(7)，所述反射圈(6)顶端设置有双层保温罩(8)，且双层保温罩(8)的顶端设置有单层保温罩(9)，所述单层保温罩(9)的外壁均匀设置有散热口(10)，所述单层保温罩(9)的内侧设置有加热器(11)，所述加热器(11)正面的两侧皆设置有电极块(12)，所述坩埚轴(5)的顶端设置有石墨托碗(13)，所述石墨托碗(13)的内部设置有石英坩埚(14)，所述散热口(10)的内部设置有密封板(15)，且密封板(15)与散热口(10)之间设置有收纳管(17)，且收纳管(17)的内部安装有连接架(18)和热膨胀块(19)。

2.根据权利要求1所述的一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，其特征在于：所述反射圈(6)的内腔设置有曲面，所述反射底盖(7)的顶端呈斜凹面。

3.根据权利要求1所述的一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，其特征在于：所述反射圈(6)的直径与炉体(1)的内腔直径相等。

4.根据权利要求1所述的一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，其特征在于：所述加热器(11)的长度是石英坩埚(14)长度的1.7倍。

5.根据权利要求1所述的一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，其特征在于：所述石墨托碗(13)的厚度为5mm。

6.根据权利要求1所述的一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，其特征在于：所述密封板(15)的底端固定安装有配重块(16)，所述密封板(15)与散热口(10)之间安装有转轴，密封板(15)与散热口(10)组成转动式结构。