[实用新型]一种射频中和器冷却装置

摘要

本实用新型涉及射频中和器技术领域，具体公开了一种射频中和器冷却装置，包括有冷却本体、冷却管、绝缘陶瓷套、导线电极、中空电极套以及供气管；所述冷却管固定安装在所述冷却本体底部的冷却管槽内；所述绝缘陶瓷套固定在陶瓷电极孔内，所述导线电极固定在绝缘陶瓷套内；所述中空电极套固定在中空电极孔内，所述供气管固定在中空电极套内。本实用新型利用固定安装在所述冷却本体底部冷却管槽内的冷却管，通过冷却管内部的冷却液达到快速散热冷却安装固定在冷却本体顶部冷却面内的射频中和器的目的，解决了现有技术中射频中和器因采用自然散热方式而导致冷却效率不佳的缺陷，提高了射频中和器的工作效率，达到延长射频中和器使用寿命的目的。

主权项

1.一种射频中和器冷却装置，包括有冷却本体，其特征在于，还包括有冷却管、绝缘陶瓷套、导线电极、中空电极套以及供气管；所述冷却本体的顶部向下凹设有用于安装射频中和器的冷却面；所述冷却本体于冷却面边缘处开设有贯穿冷却本体的陶瓷电极孔，所述绝缘陶瓷套固定设置在所述陶瓷电极孔内，所述导线电极固定设置在所述绝缘陶瓷套的内腔中；所述冷却本体于冷却面中心处开设有贯穿冷却本体的中空电极孔；所述中空电极套固定设置在所述中空电极孔内，所述供气管固定设置在所述中空电极套的内腔中；所述冷却本体的底部向上凹设有安装面；所述冷却本体于安装面中心处开设有冷却管槽，所述冷却管槽位于所述冷却面的轴心正下方处；所述冷却管固定安装在所述冷却管槽内。