[实用新型]一种射频中和器冷却装置

权利要求书

1.一种射频中和器冷却装置，包括有冷却本体，其特征在于，还包括有冷却管、绝缘陶瓷套、导线电极、中空电极套以及供气管；所述冷却本体的顶部向下凹设有用于安装射频中和器的冷却面；所述冷却本体于冷却面边缘处开设有贯穿冷却本体的陶瓷电极孔，所述绝缘陶瓷套固定设置在所述陶瓷电极孔内，所述导线电极固定设置在所述绝缘陶瓷套的内腔中；所述冷却本体于冷却面中心处开设有贯穿冷却本体的中空电极孔；所述中空电极套固定设置在所述中空电极孔内，所述供气管固定设置在所述中空电极套的内腔中；所述冷却本体的底部向上凹设有安装面；所述冷却本体于安装面中心处开设有冷却管槽，所述冷却管槽位于所述冷却面的轴心正下方处；所述冷却管固定安装在所述冷却管槽内。

2.根据权利要求1所述的一种射频中和器冷却装置，其特征在于：所述冷却面包括有电离腔室安装槽以及电极安装槽；所述电极安装槽位于所述电离腔室安装槽的边沿处并与所述电离腔室安装槽相连通。

3.根据权利要求2所述的一种射频中和器冷却装置，其特征在于：所述冷却本体于电离腔室安装槽中心处开设有贯穿冷却本体的中空电极孔，所述冷却本体于电极安装槽中心处开设有贯穿冷却本体的陶瓷电极孔。

4.根据权利要求3所述的一种射频中和器冷却装置，其特征在于：所述电极安装槽共有两个，其中一个所述电极安装槽位于所述电离腔室安装槽的一侧边沿处并与所述电离腔室安装槽相连通，另一个所述电极安装槽位于所述电离腔室安装槽的另一侧边沿处并与所述电离腔室安装槽相连通，且两个所述电极安装槽之间的角度间隔为0-180度。

5.根据权利要求1-4中任一项权利要求所述的一种射频中和器冷却装置，其特征在于：该射频中和器冷却装置还包括有进液管和出液管；所述进液管和出液管分别固定安装在所述冷却本体于安装面处，且所述进液管与所述冷却管的进水口连通，所述出液管与所述冷却管的出水口连通。

6.根据权利要求5所述的一种射频中和器冷却装置，其特征在于：所述冷却管的整体外形为U型空心管道，且采用胶粘方式固定安装在所述冷却管槽内。

7.根据权利要求6所述的一种射频中和器冷却装置，其特征在于：该射频中和器冷却装置还包括有固定孔，所述固定孔竖向设置在所述冷却本体上，且所述固定孔自上而下贯穿所述冷却本体并从安装面处穿出。