[实用新型]一种射频中和器冷却装置

说明书

本实用新型涉及射频中和器技术领域，具体公开了一种射频中和器冷却装置，包括有冷却本体、冷却管、绝缘陶瓷套、导线电极、中空电极套以及供气管；所述冷却管固定安装在所述冷却本体底部的冷却管槽内；所述绝缘陶瓷套固定在陶瓷电极孔内，所述导线电极固定在绝缘陶瓷套内；所述中空电极套固定在中空电极孔内，所述供气管固定在中空电极套内。本实用新型利用固定安装在所述冷却本体底部冷却管槽内的冷却管，通过冷却管内部的冷却液达到快速散热冷却安装固定在冷却本体顶部冷却面内的射频中和器的目的，解决了现有技术中射频中和器因采用自然散热方式而导致冷却效率不佳的缺陷，提高了射频中和器的工作效率，达到延长射频中和器使用寿命的目的。

技术领域

本实用新型涉及射频中和器技术领域，更具体地说，涉及一种射频中和器冷却装置。

背景技术

离子源中和器向离子源引出的离子束发射电子，使束电流和束电荷得到中和的离子发射部件。离子源栅极引出的是带正电的离子束。为了避免靶材或加工表面积累电荷，需要中和离子束电流；为了减少离子束中的空间电荷，以继续引出离子，减小羽流扩散角，需要中和离子束电荷。为此，需要在放电室和栅极外边设置中和器，向离子束发射与束电流等量的电子流。传统中和器靠加热灯丝产生自由电子。由于灯丝寿命短，一般只有不到10小时的连续工作间。而使用射频技术驱动的离子源中和器寿命可以大大延长到上1000小时，是一种效率极高的离子源中和器系统。

由于高速运转的电子流会不断撞击中和器内壁，从而会产生一定的热量，在射频中和器长期工作过程中，中和器上积累的热量会逐渐增多，从而会影响中和器的正常工作和使用寿命。为了保证中和器的正常运转，需要对中和器进行一定的散热维护。现有的中和器散热处理方法主要是采用自然散热方式，当中和器工作一段时间，暂停中和器的运行，让中和器自行散热到一定程度后再继续运行，通过这种一停一动的运作方式，使得中和器能在合理的温度范围内运行，但是，这种方式会降低中和器的工作效率，影响生产效率，导致散热性能不佳。因此，如何设计出一种射频中和器专用的散热装置成为当前行业的亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种射频中和器冷却装置，以解决现有技术中射频中和器因采用自然散热方式而导致冷却效率不佳的缺陷。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种射频中和器冷却装置，包括有冷却本体，还包括有冷却管、绝缘陶瓷套、导线电极、中空电极套以及供气管；所述冷却本体的顶部向下凹设有用于安装射频中和器的冷却面；所述冷却本体于冷却面边缘处开设有贯穿冷却本体的陶瓷电极孔，所述绝缘陶瓷套固定设置在所述陶瓷电极孔内，所述导线电极固定设置在所述绝缘陶瓷套的内腔中；所述冷却本体于冷却面中心处开设有贯穿冷却本体的中空电极孔；所述中空电极套固定设置在所述中空电极孔内，所述供气管固定设置在所述中空电极套的内腔中；所述冷却本体的底部向上凹设有安装面；所述冷却本体于安装面中心处开设有冷却管槽，所述冷却管槽位于所述冷却面的轴心正下方处；所述冷却管固定安装在所述冷却管槽内。

作为本实用新型的优选方案，该冷却面包括有电离腔室安装槽以及电极安装槽；所述电极安装槽位于所述电离腔室安装槽的边沿处并与所述电离腔室安装槽相连通。

作为本实用新型的优选方案，该冷却本体于电离腔室安装槽中心处开设有贯穿冷却本体的中空电极孔，所述冷却本体于电极安装槽中心处开设有贯穿冷却本体的陶瓷电极孔。

作为本实用新型的优选方案，该电极安装槽共有两个，其中一个所述电极安装槽位于所述电离腔室安装槽的一侧边沿处并与所述电离腔室安装槽相连通，另一个所述电极安装槽位于所述电离腔室安装槽的另一侧边沿处并与所述电离腔室安装槽相连通，且两个所述电极安装槽之间的角度间隔为0-180度。

作为本实用新型的优选方案，该射频中和器冷却装置还包括有进液管和出液管；所述进液管和出液管分别固定安装在所述冷却本体于安装面处，且所述进液管与所述冷却管的进水口连通，所述出液管与所述冷却管的出水口连通。