[实用新型]一种夹持头及夹持装置有效
| 申请号： | 201821573132.3 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN208690233U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 谢金晶;王豪兵;周彬;衡阳;郑旭然 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种夹持头及夹持装置，涉及硅片运输技术领域。该夹持头包括相对设置的第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪和所述第二夹爪整体均呈L型，包括竖直设置的第一板和水平设置的第二板，所述第二夹爪中的第一板朝向所述第一夹爪的表面设置有弧形槽，两个所述第一板之间形成夹持工件的夹持空间。该夹持头包括相对设置的第一夹爪和第二夹爪，第二夹爪的第一板上设置有弧形槽，使得弧形槽所在位置处两个第一板之间的距离是在一定范围内变化的，夹持工件时，根据工件的实际尺寸，工件可以夹持固定在弧形槽的对应位置处，以避免工件受到的夹持力过大损坏或工件未被夹紧出现晃动等问题，从而保证工件夹持固定的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 夹爪 第一板 弧形槽 夹持头 夹持工件 夹持装置 相对设置 运输技术领域 本实用新型 表面设置 工件夹持 夹持固定 夹持空间 竖直设置 水平设置 固定的 夹持力 位置处 硅片 晃动 夹紧 保证 | ||
【主权项】：
1.一种夹持头，包括相对设置的第一夹爪(2)和第二夹爪(1)，其特征在于，所述第一夹爪(2)和所述第二夹爪(1)均呈L型，所述第一夹爪(2)和所述第二夹爪(1)均包括竖直设置的第一板(11)和水平设置的第二板(12)，所述第二夹爪(1)中的第一板(11)朝向所述第一夹爪(2)的表面设置有弧形槽(3)，两个所述第一板(11)之间形成夹持工件的夹持空间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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