[实用新型]一种电子元件生产的光刻装置

摘要

本实用新型公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机，光刻机的底部固定连接有固定连接有U型壳，U型壳相向一侧的侧壁均开设有转孔，两个转孔均通过轴承转动连接有转筒，且转筒的两端均穿过转孔并向外延伸设置，转筒内设有活动杆，活动杆的侧壁通过弹性伸缩杆与转筒内壁的底部固定连接，活动杆相背离弹性伸缩杆的一端固定连接有夹板，两个转筒的侧壁均对称开设有两个圆孔，且两个圆孔靠近转筒的筒口处设置，两个圆孔内均设有活动块，活动块相背离活动杆的一端开设有倾斜角，转筒的外壁设有管体。本实用新型能够方便快捷地对被加工的硅片进行夹持，提高了工作效率，同时能够对硅片进行翻转，便于两面的加工。

主权项

1.一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机(1)，其特征在于，所述光刻机(1)的底部固定连接有固定连接有U型壳(2)，所述U型壳(2)相向一侧的侧壁均开设有转孔，两个所述转孔均通过轴承转动连接有转筒(3)，且转筒(3)的两端均穿过转孔并向外延伸设置，所述转筒(3)内设有活动杆(4)，所述活动杆(4)的侧壁通过弹性伸缩杆(5)与转筒(3)内壁的底部固定连接，所述活动杆(4)相背离弹性伸缩杆(5)的一端固定连接有夹板(6)，两个所述转筒(3)的侧壁均对称开设有两个圆孔，且两个圆孔靠近转筒(3)的筒口处设置，两个所述圆孔内均设有活动块(7)，所述活动块(7)相背离活动杆(4)的一端开设有倾斜角，所述转筒(3)的外壁设有管体(8)，且管体(8)靠近圆孔一侧设置，所述管体(8)的内壁对称固定连接有两个限位块(9)，所述转筒(3)的侧壁开设有与限位块(9)相匹配的限位槽，两个所述限位块(9)相向一侧的侧壁均开设有凹槽，所述凹槽内设有卡块(10)，所述卡块(10)的侧壁通过第一弹簧(11)与凹槽的槽底固定连接，所述卡块(10)相背离第一弹簧(11)的一端呈弧形设置，所述限位槽的槽底开设有两个与卡块(10)相匹配的弧形卡槽，两个所述转筒(3)相背离的一端均设有限位机构。