[实用新型]一种电子元件生产的光刻装置

权利要求书

1.一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机(1)，其特征在于，所述光刻机(1)的底部固定连接有固定连接有U型壳(2)，所述U型壳(2)相向一侧的侧壁均开设有转孔，两个所述转孔均通过轴承转动连接有转筒(3)，且转筒(3)的两端均穿过转孔并向外延伸设置，所述转筒(3)内设有活动杆(4)，所述活动杆(4)的侧壁通过弹性伸缩杆(5)与转筒(3)内壁的底部固定连接，所述活动杆(4)相背离弹性伸缩杆(5)的一端固定连接有夹板(6)，两个所述转筒(3)的侧壁均对称开设有两个圆孔，且两个圆孔靠近转筒(3)的筒口处设置，两个所述圆孔内均设有活动块(7)，所述活动块(7)相背离活动杆(4)的一端开设有倾斜角，所述转筒(3)的外壁设有管体(8)，且管体(8)靠近圆孔一侧设置，所述管体(8)的内壁对称固定连接有两个限位块(9)，所述转筒(3)的侧壁开设有与限位块(9)相匹配的限位槽，两个所述限位块(9)相向一侧的侧壁均开设有凹槽，所述凹槽内设有卡块(10)，所述卡块(10)的侧壁通过第一弹簧(11)与凹槽的槽底固定连接，所述卡块(10)相背离第一弹簧(11)的一端呈弧形设置，所述限位槽的槽底开设有两个与卡块(10)相匹配的弧形卡槽，两个所述转筒(3)相背离的一端均设有限位机构。

2.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述限位机构包括转筒(3)，所述转筒(3)相背离活动杆(4)的一端固定连接有转杆，所述转杆的侧壁开设有通孔，所述通孔内设有限位杆(12)，且限位杆(12)的两端均穿过通孔并向外延伸设置，所述通孔的两侧壁均固定连接有第一滑块(13)，所述限位杆(12)的两侧壁均开设有与第一滑块(13)相匹配的第一滑槽，所述第一滑块(13)的侧壁通过第二弹簧(14)与第一滑槽的侧壁固定连接，所述U型壳(2)的侧壁开设有两个与限位杆(12)相匹配的卡槽，且两个卡槽关于转孔呈对称设置。

3.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，两个所述活动杆(4)相向活动块(7)的两侧壁均固定连接有阻尼块，且阻尼块的表面均开设有防滑纹。

4.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，多个所述活动块(7)的两侧壁均固定连接有第二滑块(15)，所述圆孔的侧壁开设有两个与第二滑块(15)相匹配的第二滑槽，所述第二滑块(15)的侧壁通过第三弹簧(16)与第二滑槽的侧壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，两个所述夹板(6)相向一侧的侧壁均固定连接有橡胶垫片。

6.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，两个所述管体(8)的内壁均对称活动套接有两个滚珠，且两个滚珠均与活动块(7)的侧壁相抵。