[实用新型]一种电子元件生产的光刻装置

说明书

本实用新型公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机，光刻机的底部固定连接有固定连接有U型壳，U型壳相向一侧的侧壁均开设有转孔，两个转孔均通过轴承转动连接有转筒，且转筒的两端均穿过转孔并向外延伸设置，转筒内设有活动杆，活动杆的侧壁通过弹性伸缩杆与转筒内壁的底部固定连接，活动杆相背离弹性伸缩杆的一端固定连接有夹板，两个转筒的侧壁均对称开设有两个圆孔，且两个圆孔靠近转筒的筒口处设置，两个圆孔内均设有活动块，活动块相背离活动杆的一端开设有倾斜角，转筒的外壁设有管体。本实用新型能够方便快捷地对被加工的硅片进行夹持，提高了工作效率，同时能够对硅片进行翻转，便于两面的加工。

技术领域

本实用新型涉及电子元件技术领域，尤其涉及一种电子元件生产的光刻装置。

背景技术

电子元件是组成电子产品的基础，常用的电子元件有：电阻、电容、电感、电位器、变压器等，在晶圆的制造过程中，晶体三极管、二极管、电容、电阻和金属层的各种物理部件在晶圆表面或表层内构成。这些部件是每次在一个掩膜层上生成的，并且结合生成薄膜及去除特定部分，通过光刻工艺过程，最终在晶圆上保留特征图形的部分。

目前，都是通过光刻机来对被加工的硅片进行光刻，现有技术中，在对被加工的硅片进行夹持都是通过螺栓固定的，而螺栓固定时步骤较为繁琐，从而降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中在对被加工的硅片进行夹持都是通过螺栓固定的，而螺栓固定时步骤较为繁琐，从而降低了工作效率的问题，而提出的一种电子元件生产的光刻装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机，所述光刻机的底部固定连接有固定连接有U型壳，所述U型壳相向一侧的侧壁均开设有转孔，两个所述转孔均通过轴承转动连接有转筒，且转筒的两端均穿过转孔并向外延伸设置，所述转筒内设有活动杆，所述活动杆的侧壁通过弹性伸缩杆与转筒内壁的底部固定连接，所述活动杆相背离弹性伸缩杆的一端固定连接有夹板，两个所述转筒的侧壁均对称开设有两个圆孔，且两个圆孔靠近转筒的筒口处设置，两个所述圆孔内均设有活动块，所述活动块相背离活动杆的一端开设有倾斜角，所述转筒的外壁设有管体，且管体靠近圆孔一侧设置，所述管体的内壁对称固定连接有两个限位块，所述转筒的侧壁开设有与限位块相匹配的限位槽，两个所述限位块相向一侧的侧壁均开设有凹槽，所述凹槽内设有卡块，所述卡块的侧壁通过第一弹簧与凹槽的槽底固定连接，所述卡块相背离第一弹簧的一端呈弧形设置，所述限位槽的槽底开设有两个与卡块相匹配的弧形卡槽，两个所述转筒相背离的一端均设有限位机构。

优选的，所述限位机构包括转筒，所述转筒相背离活动杆的一端固定连接有转杆，所述转杆的侧壁开设有通孔，所述通孔内设有限位杆，且限位杆的两端均穿过通孔并向外延伸设置，所述通孔的两侧壁均固定连接有第一滑块，所述限位杆的两侧壁均开设有与第一滑块相匹配的第一滑槽，所述第一滑块的侧壁通过第二弹簧与第一滑槽的侧壁固定连接，所述U型壳的侧壁开设有两个与限位杆相匹配的卡槽，且两个卡槽关于转孔呈对称设置。

优选的，两个所述活动杆相向活动块的两侧壁均固定连接有阻尼块，且阻尼块的表面均开设有防滑纹。

优选的，多个所述活动块的两侧壁均固定连接有第二滑块，所述圆孔的侧壁开设有两个与第二滑块相匹配的第二滑槽，所述第二滑块的侧壁通过第三弹簧与第二滑槽的侧壁固定连接。

优选的，两个所述夹板相向一侧的侧壁均固定连接有橡胶垫片。

优选的，两个所述管体的内壁均对称活动套接有两个滚珠，且两个滚珠均与活动块的侧壁相抵。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种电子元件生产的光刻装置，具备以下有益效果：