[实用新型]一种高效的光学真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种高效的光学真空镀膜机，包括密封箱，所述密封箱的内壁固定连接有与密封箱相适配的支撑板，所述支撑板的上表面开设有等距离排列的通孔，所述密封箱的内壁固定连接有与密封箱相适配的隔板，且隔板位于支撑板的上方，所述隔板的底面固定镶嵌有轴承，所述轴承的内圈固定连接有第一导管。该高效的光学真空镀膜机，通过支撑座上表面固定连接的电机，以及支撑箱底面固定连通的分流罩之间相配合，能够使镀膜靶材快速均匀的覆盖在镀膜基材的上表面，有效降低镀膜靶材均匀的覆盖在镀膜基材上表面所用的时间，有效提升在对镀膜基材进行镀膜时的效率，有效提高真空镀膜机整体的使用效果。

主权项

1.一种高效的光学真空镀膜机，包括密封箱（1），其特征在于：所述密封箱（1）的内壁固定连接有与密封箱（1）相适配的支撑板（4），所述支撑板（4）的上表面开设有等距离排列的通孔（5），所述密封箱（1）的内壁固定连接有与密封箱（1）相适配的隔板（6），且隔板（6）位于支撑板（4）的上方，所述隔板（6）的底面固定镶嵌有轴承（7），所述轴承（7）的内圈固定连接有第一导管（8），所述第一导管（8）的底面固定连通有支撑箱（9），所述支撑箱（9）的底面固定连通有等距离排列的分流罩（10），所述第一导管（8）的上表面固定连通有导流罩（11），所述第一导管（8）的外表面固定连接有第一锥齿轮（12），所述隔板（6）的上表面固定连接有支撑座（13），所述支撑座（13）的上表面固定连接有电机（14），所述电机（14）的输出端固定连接有第二锥齿轮（15），所述第二锥齿轮（15）的外表面与第一锥齿轮（12）的外表面相啮合，所述电机（14）的上表面固定连接有电机控制器（25），所述密封箱（1）的内顶壁固定连接有储料箱（16），所述储料箱（16）的底面固定连通有第二导管（17），所述第二导管（17）远离储料箱（16）的一端延伸至导流罩（11）的内部，所述储料箱（16）的内顶壁固定连接有加热器（18），所述储料箱（16）的上表面固定连通有加料管（26），所述加料管（26）的顶端贯穿密封箱（1）并延伸至密封箱（1）的上方，所述加料管（26）远离密封箱（1）的一端套设有密封盖（27），所述密封盖（27）的内壁与加料管（26）的外表面均开设有螺纹，且密封盖（27）的内壁与加料管（26）的外表面螺纹连接，所述密封箱（1）左侧面的底部固定连接有保护罩（19），所述保护罩（19）的内侧壁固定连接有真空泵（21），所述真空泵（21）的输入端固定连通有抽气管（22），所述抽气管（22）远离真空泵（21）的一端贯穿密封箱（1）并延伸至密封箱（1）的内部，且抽气管（22）位于支撑板（4）的下方，所述真空泵（21）的输出端固定连通有排气管（24），所述排气管（24）远离真空泵（21）的一端贯穿保护罩（19）并延伸至保护罩（19）的下方。