[实用新型]一种高效的光学真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种高效的光学真空镀膜机，包括密封箱，所述密封箱的内壁固定连接有与密封箱相适配的支撑板，所述支撑板的上表面开设有等距离排列的通孔，所述密封箱的内壁固定连接有与密封箱相适配的隔板，且隔板位于支撑板的上方，所述隔板的底面固定镶嵌有轴承，所述轴承的内圈固定连接有第一导管。该高效的光学真空镀膜机，通过支撑座上表面固定连接的电机，以及支撑箱底面固定连通的分流罩之间相配合，能够使镀膜靶材快速均匀的覆盖在镀膜基材的上表面，有效降低镀膜靶材均匀的覆盖在镀膜基材上表面所用的时间，有效提升在对镀膜基材进行镀膜时的效率，有效提高真空镀膜机整体的使用效果。

技术领域

本实用新型涉及光学加工技术领域，具体为一种高效的光学真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

在对镀膜基材镀膜的过程中会使用到真空镀膜机，但现有的真空镀膜机在对镀膜靶材进行加热过后没有分流措施，蒸发后的镀膜靶材重量较轻，当镀膜靶材均匀覆盖在镀膜基材上表面时，所用的时间较长，进而造成真空镀膜机效率的低下，因此现推出一种高效的光学真空镀膜机。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高效的光学真空镀膜机，解决了现有真空镀膜机效率低下的问题。

（二）技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效的光学真空镀膜机，包括密封箱，所述密封箱的内壁固定连接有与密封箱相适配的支撑板，所述支撑板的上表面开设有等距离排列的通孔，所述密封箱的内壁固定连接有与密封箱相适配的隔板，且隔板位于支撑板的上方，所述隔板的底面固定镶嵌有轴承，所述轴承的内圈固定连接有第一导管，所述第一导管的底面固定连通有支撑箱，所述支撑箱的底面固定连通有等距离排列的分流罩，所述第一导管的上表面固定连通有导流罩，所述第一导管的外表面固定连接有第一锥齿轮，所述隔板的上表面固定连接有支撑座，所述支撑座的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的外表面与第一锥齿轮的外表面相啮合，所述电机的上表面固定连接有电机控制器，所述密封箱的内顶壁固定连接有储料箱，所述储料箱的底面固定连通有第二导管，所述第二导管远离储料箱的一端延伸至导流罩的内部，所述储料箱的内顶壁固定连接有加热器，所述储料箱的上表面固定连通有加料管，所述加料管的顶端贯穿密封箱并延伸至密封箱的上方，所述加料管远离密封箱的一端套设有密封盖，所述密封盖的内壁与加料管的外表面均开设有螺纹，且密封盖的内壁与加料管的外表面螺纹连接，所述密封箱左侧面的底部固定连接有保护罩，所述保护罩的内侧壁固定连接有真空泵，所述真空泵的输入端固定连通有抽气管，所述抽气管远离真空泵的一端贯穿密封箱并延伸至密封箱的内部，且抽气管位于支撑板的下方，所述真空泵的输出端固定连通有排气管，所述排气管远离真空泵的一端贯穿保护罩并延伸至保护罩的下方。

优选的，所述密封箱的底面固定连接有两个相对称的底座，每个所述底座的底面均固定连接有防滑垫。

优选的，所述第一锥齿轮的齿牙数量大于第二锥齿轮的齿牙数量，且第一锥齿轮的齿牙间隙与第二锥齿轮的齿牙间隙相等。

优选的，所述保护罩的上表面开设有通风孔，且通风孔位于保护罩上表面的中部。

优选的，所述支撑板的下方设有单向阀，所述单向阀的左侧面与抽气管的右侧面固定连通。

优选的，所述密封盖的内顶壁固定连接有密封垫，所述密封垫的底面与加料管的上表面相接触。

（三）有益效果

本实用新型提供了一种高效的光学真空镀膜机，具备以下有益效果：