[实用新型]一种高效的光学真空镀膜机有效
申请号: | 201821522349.1 | 申请日: | 2018-09-18 |
公开(公告)号: | CN208685052U | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 徐耀春 | 申请(专利权)人: | 江西弘耀光学水晶有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 南昌卓尔精诚专利代理事务所(普通合伙) 36133 | 代理人: | 罗茶根 |
地址: | 334000 江西省上*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封箱 光学真空镀膜机 隔板 镀膜基材 上表面 支撑板 镀膜 靶材 内壁 适配 轴承 支撑座上表面 本实用新型 等距离排列 真空镀膜机 固定连通 内圈固定 分流罩 箱底面 导管 底面 覆盖 通孔 电机 镶嵌 支撑 配合 | ||
1.一种高效的光学真空镀膜机,包括密封箱(1),其特征在于:所述密封箱(1)的内壁固定连接有与密封箱(1)相适配的支撑板(4),所述支撑板(4)的上表面开设有等距离排列的通孔(5),所述密封箱(1)的内壁固定连接有与密封箱(1)相适配的隔板(6),且隔板(6)位于支撑板(4)的上方,所述隔板(6)的底面固定镶嵌有轴承(7),所述轴承(7)的内圈固定连接有第一导管(8),所述第一导管(8)的底面固定连通有支撑箱(9),所述支撑箱(9)的底面固定连通有等距离排列的分流罩(10),所述第一导管(8)的上表面固定连通有导流罩(11),所述第一导管(8)的外表面固定连接有第一锥齿轮(12),所述隔板(6)的上表面固定连接有支撑座(13),所述支撑座(13)的上表面固定连接有电机(14),所述电机(14)的输出端固定连接有第二锥齿轮(15),所述第二锥齿轮(15)的外表面与第一锥齿轮(12)的外表面相啮合,所述电机(14)的上表面固定连接有电机控制器(25),所述密封箱(1)的内顶壁固定连接有储料箱(16),所述储料箱(16)的底面固定连通有第二导管(17),所述第二导管(17)远离储料箱(16)的一端延伸至导流罩(11)的内部,所述储料箱(16)的内顶壁固定连接有加热器(18),所述储料箱(16)的上表面固定连通有加料管(26),所述加料管(26)的顶端贯穿密封箱(1)并延伸至密封箱(1)的上方,所述加料管(26)远离密封箱(1)的一端套设有密封盖(27),所述密封盖(27)的内壁与加料管(26)的外表面均开设有螺纹,且密封盖(27)的内壁与加料管(26)的外表面螺纹连接,所述密封箱(1)左侧面的底部固定连接有保护罩(19),所述保护罩(19)的内侧壁固定连接有真空泵(21),所述真空泵(21)的输入端固定连通有抽气管(22),所述抽气管(22)远离真空泵(21)的一端贯穿密封箱(1)并延伸至密封箱(1)的内部,且抽气管(22)位于支撑板(4)的下方,所述真空泵(21)的输出端固定连通有排气管(24),所述排气管(24)远离真空泵(21)的一端贯穿保护罩(19)并延伸至保护罩(19)的下方。
2.根据权利要求1所述的一种高效的光学真空镀膜机,其特征在于:所述密封箱(1)的底面固定连接有两个相对称的底座(2),每个所述底座(2)的底面均固定连接有防滑垫(3)。
3.根据权利要求1所述的一种高效的光学真空镀膜机,其特征在于:所述第一锥齿轮(12)的齿牙数量大于第二锥齿轮(15)的齿牙数量,且第一锥齿轮(12)的齿牙间隙与第二锥齿轮(15)的齿牙间隙相等。
4.根据权利要求1所述的一种高效的光学真空镀膜机,其特征在于:所述保护罩(19)的上表面开设有通风孔(20),且通风孔(20)位于保护罩(19)上表面的中部。
5.根据权利要求1所述的一种高效的光学真空镀膜机,其特征在于:所述支撑板(4)的下方设有单向阀(23),所述单向阀(23)的左侧面与抽气管(22)的右侧面固定连通。
6.根据权利要求1所述的一种高效的光学真空镀膜机,其特征在于:所述密封盖(27)的内顶壁固定连接有密封垫(28),所述密封垫(28)的底面与加料管(26)的上表面相接触。
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