[实用新型]一种半导体芯片抛光机

摘要

本实用新型公开了一种半导体芯片抛光机，主要涉及功率半导体器件生产设备技术领域。包括固定架和固定架底部的空心轴电机，固定架上安装用于控制电机转速的调节开关，固定架顶部设上台板，电机传动轴上设空心轴，空心轴一端穿过上台板，暴露在上台板顶端，空心轴另一端穿过固定架，暴露在固定架底端，空心轴底部设万向接头，万向接头底端设抽气管，抽气管一端设抽气机，上台板上设开口向上的U型容纳槽，容纳槽底部设通孔，容纳槽套设在空心轴外侧，容纳槽侧壁上设若干喷液孔，上台板上设抛光液储液罐，储液罐上设出液管，出液管上设控制阀，控制阀连接微处理器，出液管伸入喷液孔。本实用新型益效果：不需反复移动蘸取抛光液，提高工作效率。

主权项

1.一种半导体芯片抛光机，包括固定架(1)和固定架(1)底部的空心轴的电机，所述固定架(1)上安装用于控制电机转速的调节开关，所述固定架(1)顶部设置上台板(2)，所述电机传动轴上设置空心轴(3)，所述空心轴(3)一端穿过上台板(2)，暴露在上台板(2)顶端，所述空心轴(3)另一端穿过固定架(1)，暴露在固定架(1)底端，所述空心轴(3)底部设置万向接头，所述万向接头底端设置抽气管，所述抽气管一端设置抽气机，其特征是：所述上台板(2)上设有开口向上的U型容纳槽(4)，所述容纳槽(4)底部设有与空心轴(3)相适应的通孔，所述容纳槽(4)套设在空心轴(3)外侧，所述容纳槽(4)侧壁上设有若干喷液孔(5)，所述上台板(2)上设有抛光液储液罐(6)，所述储液罐(6)上设有出液管(7)，所述出液管(7)上设有控制阀，所述控制阀连接微处理器，所述出液管(7)伸入喷液孔(5)。