[实用新型]一种半导体芯片抛光机

权利要求书

1.一种半导体芯片抛光机，包括固定架(1)和固定架(1)底部的空心轴的电机，所述固定架(1)上安装用于控制电机转速的调节开关，所述固定架(1)顶部设置上台板(2)，所述电机传动轴上设置空心轴(3)，所述空心轴(3)一端穿过上台板(2)，暴露在上台板(2)顶端，所述空心轴(3)另一端穿过固定架(1)，暴露在固定架(1)底端，所述空心轴(3)底部设置万向接头，所述万向接头底端设置抽气管，所述抽气管一端设置抽气机，其特征是：所述上台板(2)上设有开口向上的U型容纳槽(4)，所述容纳槽(4)底部设有与空心轴(3)相适应的通孔，所述容纳槽(4)套设在空心轴(3)外侧，所述容纳槽(4)侧壁上设有若干喷液孔(5)，所述上台板(2)上设有抛光液储液罐(6)，所述储液罐(6)上设有出液管(7)，所述出液管(7)上设有控制阀，所述控制阀连接微处理器，所述出液管(7)伸入喷液孔(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片抛光机，其特征是：所述容纳槽(4)与空心轴(3)连接在一起，所述容纳槽(4)的外侧壁上位于喷液孔(5)位置处设有连接管(8)，所述连接管(8)上设有与出液管(7)相适应的穿过孔(9)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片抛光机，其特征是：所述容纳槽(4)的靠近储液罐(6)的一侧设有支撑块(10)，所述支撑块(10)上设有与出液管(7)相适应的穿出孔(11)，所述支撑块(10)上位于穿出孔(11)的侧壁位置处设有集液孔(12)，所述上台板(2)上设有环形集液槽(13)，所述集液槽(13)套设在空心轴(3)外侧，所述集液孔(12)的底部开口位于集液槽(13)上。

4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片抛光机，其特征是：所述容纳槽(4)的底壁上设有漏液孔(14)，所述漏液孔(14)上设有过滤网(15)，所述漏液孔(14)内设有引流管(16)，所述集液槽(13)上设有与引流管(16)相适应的环形移动口(17)，所述引流管(16)穿过移动口(17)伸入集液槽(13)内。

5.根据权利要求3所述的一种半导体芯片抛光机，其特征是：所述出液管(7)上的位于穿出孔(11)位置处设有挡液板(18)。