[实用新型]一种双重检测与保护的抓手结构有效
| 申请号： | 201821490301.7 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN208819850U | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李强 | 申请（专利权）人： | 珠海达明科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 王贤义 |
| 地址： | 519085 广东省珠海市唐*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型旨在提供一种高精准、快速抓取且安全稳定的双重检测与保护的抓手结构。本实用新型包括固定板、L型板、连接板、垂直气缸、水平气缸、压板及夹爪组件，所述垂直气缸固定在所述固定板上，与所述连接板固定连接的所述L型板一端与所述垂直气缸的运动端固定连接，所述L型板另一端与所述水平气缸固定连接，所述压板与所述连接板固定连接，所述夹爪组件与所述水平气缸的运动端固定连接，所述垂直气缸上设有与所述垂直气缸固定连接的上限传感器和下限传感器，所述连接板上设有与所述连接板固定连接的到位传感器。本实用新型应用于半导体加工的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直气缸 连接板 本实用新型 水平气缸 夹爪组件 双重检测 抓手结构 固定板 运动端 压板 抓取 半导体加工 到位传感器 上限传感器 下限传感器 安全稳定 高精准 应用 | ||
【主权项】：
1.一种双重检测与保护的抓手结构，其特征在于：它包括固定板（1）、L型板（2）、连接板（3）、垂直气缸（4）、水平气缸（5）、压板（6）及夹爪组件（7），所述垂直气缸（4）固定在所述固定板（1）上，与所述连接板（3）固定连接的所述L型板（2）一端与所述垂直气缸（4）的运动端固定连接，所述L型板（2）的另一端与所述水平气缸（5）固定连接，所述压板（6）与所述连接板（3）固定连接，所述夹爪组件（7）与所述水平气缸（5）的运动端固定连接，所述垂直气缸（4）上设有均与所述垂直气缸（4）固定连接的上限传感器（41）和下限传感器（42），所述连接板（3）上设有与所述连接板（3）固定连接的到位传感器（31）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
