[实用新型]一种双重检测与保护的抓手结构有效
| 申请号： | 201821490301.7 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN208819850U | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李强 | 申请（专利权）人： | 珠海达明科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 王贤义 |
| 地址： | 519085 广东省珠海市唐*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 垂直气缸 连接板 本实用新型 水平气缸 夹爪组件 双重检测 抓手结构 固定板 运动端 压板 抓取 半导体加工 到位传感器 上限传感器 下限传感器 安全稳定 高精准 应用 | ||
1.一种双重检测与保护的抓手结构，其特征在于：它包括固定板（1）、L型板（2）、连接板（3）、垂直气缸（4）、水平气缸（5）、压板（6）及夹爪组件（7），所述垂直气缸（4）固定在所述固定板（1）上，与所述连接板（3）固定连接的所述L型板（2）一端与所述垂直气缸（4）的运动端固定连接，所述L型板（2）的另一端与所述水平气缸（5）固定连接，所述压板（6）与所述连接板（3）固定连接，所述夹爪组件（7）与所述水平气缸（5）的运动端固定连接，所述垂直气缸（4）上设有均与所述垂直气缸（4）固定连接的上限传感器（41）和下限传感器（42），所述连接板（3）上设有与所述连接板（3）固定连接的到位传感器（31）。
2.根据权利要求1所述的一种双重检测与保护的抓手结构，其特征在于：所述连接板（3）上设有若干导向机构（32），若干所述导向机构（32）均包括弹簧（321）、连接杆（322）、杆座（323）及杆套（324），所述杆座（323）分别与所述弹簧（321）和所述连接杆（322）相适配，所述杆套（324）与所述连接杆（322）相适配。
3.根据权利要求1所述的一种双重检测与保护的抓手结构，其特征在于：所述垂直气缸（4）上设有两限位块（43），其一所述限位块（43）固定于所述垂直气缸（4）运动端，另一所述限位块（43）固定于所述垂直气缸（4）的固定端。
4.根据权利要求1所述的一种双重检测与保护的抓手结构，其特征在于：所述夹爪组件（7）包括连接梁（71）及两夹爪（72），两所述夹爪（72）分别与所述连接梁（71）的两端固定连接，所述连接梁（71）与所述水平气缸（5）固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种双重检测与保护的抓手结构，其特征在于：两所述夹爪（72）上均设有缓冲棒。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
