[实用新型]MEMS麦克风

摘要

一种MEMS麦克风包括具有腔室的基板；被设置在所述基板上方且具有多个声孔的背板；被设置在所述基板和所述背板之间的振膜，所述振膜与所述基板和所述背板间隔开，覆盖所述腔室以在所述振膜和所述背板之间形成气隙且被配置成响应声压产生位移；以及多个锚固件，其从所述振膜的端部延伸以与所述振膜一体形成，所述锚固件是沿所述振膜的圆周布置的以彼此间隔开并具有与所述基板的上表面相接触的下表面以支撑所述振膜。因此，所述MEMS麦克风可以具有提高的刚性和柔性。

主权项

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：基板，其被分成振动区域，围绕所述振动区域的支撑区域和围绕所述支撑区域的周边区域，所述基板具有形成在所述振动区域中的腔室和形成在其上表面处且在所述支撑区域中的至少一个锚固件插入孔；振膜，其被设置在所述基板的上方以覆盖所述腔室，所述振膜与所述基板间隔开且被配置成响应声压产生位移；至少一个锚固件，其从所述振膜的端部延伸且位于所述支撑区域中，所述锚固件包括被插入所述锚固件插入孔中以被固定至所述基板且支撑所述振膜的底部；以及背板，其被设置在所述振膜的上方且在所述振动区域中，所述背板与所述振膜间隔开以在所述振膜和所述背板之间形成气隙并具有多个声孔。