[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

基板，其被分成振动区域，围绕所述振动区域的支撑区域和围绕所述支撑区域的周边区域，所述基板具有形成在所述振动区域中的腔室和形成在其上表面处且在所述支撑区域中的至少一个锚固件插入孔；

振膜，其被设置在所述基板的上方以覆盖所述腔室，所述振膜与所述基板间隔开且被配置成响应声压产生位移；

至少一个锚固件，其从所述振膜的端部延伸且位于所述支撑区域中，所述锚固件包括被插入所述锚固件插入孔中以被固定至所述基板且支撑所述振膜的底部；以及

背板，其被设置在所述振膜的上方且在所述振动区域中，所述背板与所述振膜间隔开以在所述振膜和所述背板之间形成气隙并具有多个声孔。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述锚固件还包括在所述底部和所述振膜的所述端部之间的侧部，所述侧部相关于所述基板的所述上表面倾斜。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述锚固件还包括在所述底部和所述振膜的所述端部之间的侧部，所述侧部具有阶梯形状。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述锚固件还包括从所述底部向所述背板延伸以被连接至所述振膜的侧部，所述侧部位于邻近所述腔室处且具有阶梯形状。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述锚固件具有柱形，所述锚固件和所述锚固件插入孔分别被设置为复数个，在彼此相邻的锚固件之间形成空的空间以提供通路，所述声压移动通过所述通路。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述锚固件和所述锚固件插入孔沿所述振膜的圆周延伸，且所述锚固件和所述锚固件插入孔分别具有环形。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜包括穿过其的多个通气孔，所述通气孔被设置在所述锚固件的内侧。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述底部与所述基板相接触。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

上绝缘层，其覆盖所述背板并保持所述背板以使所述背板与所述振膜和所述锚固件隔开，以便保持所述气隙；以及

室，其被设置在所述支撑区域中以使所述上绝缘层与所述振膜和所述锚固件隔开，

其中所述基板还包括至少一个室插入孔，所述室被插入至所述室插入孔中，以使得所述室被固定至所述基板。

10.根据权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

下绝缘层图案，其被设置在所述基板上，在所述周边区域中且在所述上绝缘层的下方；以及

牺牲层图案，其被设置在所述周边区域中且在所述下绝缘层图案和所述上绝缘层之间。

11.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

基板，其被分成振动区域，围绕所述振动区域的支撑区域和围绕所述支撑区域的周边区域，所述基板具有形成在所述振动区域中的腔室和形成在所述支撑区域中的至少一个室插入孔；

振膜，其被设置在所述基板的上方以覆盖所述腔室，所述振膜与所述基板间隔开且被配置成响应声压产生位移；

背板，其被设置在所述振膜的上方且在所述振动区域中，所述背板与所述振膜间隔开以在所述振膜和所述背板之间形成气隙；

上绝缘层，其覆盖所述背板并保持所述背板以使所述背板与所述振膜隔开，以便保持所述气隙；以及

室，其被设置在所述支撑区域中以使所述上绝缘层与所述振膜隔开，且所述室被插入所述室插入孔中。