[实用新型]一种调整工具

摘要

本实用新型提供一种调整工具，用于调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度，包括：一对固定架，固定架包括：水平部，水平部提供一承托面用以承托加热装置；垂直部，垂直部用以抵靠于加热装置的调节部件，垂直部设置有刻度值，刻度值对应于调节部件的垂直运动方向。本实用新型的技术方案有益效果在于：将调整工具安装于加热装置上，可以通过直观观察固定架上的刻度值来调节加热装置的调整部件，以调整加热装置的水平度，可以定量调节，方便数据的保存及后续的维修，并且不仅适用于经验丰富的技术人员的操作，也可适用于新员工的操作，进而减少了加热装置的调机时间。

主权项

1.一种调整工具，用于调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度，其特征在于，包括：一对固定架，所述固定架包括：一水平部，所述水平部提供一承托面用以承托所述加热装置；一垂直部，所述垂直部用以抵靠于所述加热装置的调节部件，所述垂直部设置有刻度值，所述刻度值对应于所述调节部件的垂直运动方向。