[实用新型]一种调整工具有效
| 申请号： | 201821475713.3 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN209162190U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 郑高锋 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热装置 调整工具 固定架 本实用新型 垂直 水平部 水平度 垂直运动方向 化学气相沉积 调整部件 定量调节 镀膜过程 承托面 承托 调机 直观 保存 维修 观察 员工 | ||
1.一种调整工具，用于调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度，其特征在于，包括：
一对固定架，所述固定架包括：
一水平部，所述水平部提供一承托面用以承托所述加热装置；
一垂直部，所述垂直部用以抵靠于所述加热装置的调节部件，所述垂直部设置有刻度值，所述刻度值对应于所述调节部件的垂直运动方向。
2.根据权利要求1所述的调整工具，其特征在于，所述垂直部的一端连接水平部的一端。
3.根据权利要求2所述的调整工具，其特征在于，所述垂直部连接于所述承托面的背面一侧边的中点。
4.根据权利要求3所述的调整工具，其特征在于，所述垂直部成片状，所述垂直部的横截面中轴垂直于所述侧边。
5.根据权利要求1所述的调整工具，其特征在于，所述水平部上具有一固定结构，通过所述固定结构固定于所述加热装置上。
6.根据权利要求5所述的调整工具，其特征在于，所述固定结构为螺纹孔以及配合所述螺纹孔的螺栓。
7.根据权利要求6所述的调整工具，其特征在于，所述螺纹孔的直径为1-10mm。
8.根据权利要求1所述的调整工具，其特征在于，所述水平部的长度为100-300mm；和/或
所述水平部的宽度为50-200mm；和/或
所述水平部的厚度为5-20mm。
9.根据权利要求1所述的调整工具，其特征在于，于所述水平部远离所述垂直部的一端具有一背向所述加热装置的斜面，
和或
所述垂直部的下端具有一背向所述调节部件的斜角。
10.根据权利要求1所述的调整工具，其特征在于，所述调整工具由不锈钢材料制成。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
