[实用新型]一种晶圆切割机的可调固定装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆切割机的可调固定装置，包括底板，所述底板顶部的两端对称设置有第一滑槽，且第一滑槽的内部皆均匀设置有第一滑块，所述第一滑块的顶部设置有安装板，所述安装板的一侧设置有步进电机，且步进电机的输出端安装有齿轮，所述底板顶部设置有与齿轮相配合的齿条，所述安装板两端的中间位置处皆设置有第二滑槽。本实用新型安装有调节轮、转杆、第二滑块、移动板、鳍片与弧形固定片组成的固定结构，且利用转杆上的正螺纹、逆螺纹与第二滑块配合使用，使得固定结构能够对两组弧形固定片之间的距离进行调节，使得装置能够对不同大小的晶圆锭进行固定，提高了装置的实用性。

主权项

1.一种晶圆切割机的可调固定装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部的两端对称设置有第一滑槽（3），且第一滑槽（3）的内部皆均匀设置有第一滑块（18），所述第一滑块（18）的顶部设置有安装板（2），所述安装板（2）的一侧设置有步进电机（15），且步进电机（15）的输出端安装有齿轮（7），所述底板（1）顶部设置有与齿轮（7）相配合的齿条（8），所述安装板（2）两端的中间位置处皆设置有第二滑槽（13），且第二滑槽（13）的内部皆设置有第二滑块（10），所述第二滑块（10）之间设置有转杆（12），且转杆（12）皆贯穿第二滑块（10），所述转杆（12）与第二滑块（10）螺纹连接，且转杆（12）的两端皆设置有调节轮（11），所述转杆（12）外侧的一端设置有正螺纹（19），且转杆（12）外侧远离正螺纹（19）的一端设置有逆螺纹（20），所述第二滑块（10）的顶部皆设置有移动板（9），且移动板（9）的顶部皆均匀设置有鳍片（14），所述鳍片（14）的顶部皆设置有弧形固定片（5），所述安装板（2）顶部的中间位置处设置有收集槽（6），且收集槽（6）内部的底端对称设置有负压风机（17），所述负压风机（17）的输出端皆与安装板（2）的底部连通，所述收集槽（6）内部的中间位置处设置有防尘网（16）。