[实用新型]一种晶圆切割机的可调固定装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆切割机的可调固定装置，包括底板，所述底板顶部的两端对称设置有第一滑槽，且第一滑槽的内部皆均匀设置有第一滑块，所述第一滑块的顶部设置有安装板，所述安装板的一侧设置有步进电机，且步进电机的输出端安装有齿轮，所述底板顶部设置有与齿轮相配合的齿条，所述安装板两端的中间位置处皆设置有第二滑槽。本实用新型安装有调节轮、转杆、第二滑块、移动板、鳍片与弧形固定片组成的固定结构，且利用转杆上的正螺纹、逆螺纹与第二滑块配合使用，使得固定结构能够对两组弧形固定片之间的距离进行调节，使得装置能够对不同大小的晶圆锭进行固定，提高了装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆切割技术领域，具体为一种晶圆切割机的可调固定装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，在晶圆的制作过程中，需要对晶圆锭进行切割，由于晶圆锭圆柱体的结构，切割过程中需要使用专门的固定装置进行固定，但传统的固定装置规格已经固定，无法根据晶圆锭的直径不同对固定装置进行调节，实用性较低，且切割时，仅能通过移动金刚线的位置对晶圆锭进行切割，降低了了切割的速率，同时，切割产生的粉末，无法进行收集，导致切割台面较为凌乱，清理较为不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割机的可调固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割机的可调固定装置，包括底板，所述底板顶部的两端对称设置有第一滑槽，且第一滑槽的内部皆均匀设置有第一滑块，所述第一滑块的顶部设置有安装板，所述安装板的一侧设置有步进电机，且步进电机的输出端安装有齿轮，所述底板顶部设置有与齿轮相配合的齿条，所述安装板两端的中间位置处皆设置有第二滑槽，且第二滑槽的内部皆设置有第二滑块，所述第二滑块之间设置有转杆，且转杆皆贯穿第二滑块，所述转杆与第二滑块螺纹连接，且转杆的两端皆设置有调节轮，所述转杆外侧的一端设置有正螺纹，且转杆外侧远离正螺纹的一端设置有逆螺纹，所述第二滑块的顶部皆设置有移动板，且移动板的顶部皆均匀设置有鳍片，所述鳍片的顶部皆设置有弧形固定片，所述安装板顶部的中间位置处设置有收集槽，且收集槽内部的底端对称设置有负压风机，所述负压风机的输出端皆与安装板的底部连通，所述收集槽内部的中间位置处设置有防尘网。

优选的，所述底板顶部的四角处皆设置有螺纹孔，且底板底部的四角处皆设置有橡胶垫。

优选的，所述弧形固定片的内侧皆均匀设置有胶条，且胶条的内侧皆设置有防滑纹。

优选的，所述第一滑槽内部的第一滑块皆设置有三组，且相邻第一滑块之间的距离相同。

优选的，所述安装板顶部远离步进电机的一侧设置有固定挡板。

优选的，所述移动板的底部设置有耐磨涂层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶圆切割机的可调固定装置安装有调节轮、转杆、第二滑块、移动板、鳍片与弧形固定片组成的固定结构，且利用转杆上的正螺纹、逆螺纹与第二滑块配合使用，使得固定结构能够对两组弧形固定片之间的距离进行调节，使得装置能够对不同大小的晶圆锭进行固定，提高了装置的实用性，移动板一侧步进电机的设置，通过步进电机带动齿轮进行转动，并与底板上的齿条配合使用，使得装置在使用过程中，能够对晶圆锭的位置进行调节，提高了晶圆切割的速率，安装板顶部收集槽的设置，通过收集槽内部的负压风机与防尘网配合使用，能够对切割产生的粉末进行收集，使得切割台更加的洁净，节省了清理所需的时间。

附图说明

图1为本实用新型的主视示意图；

图2为本实用新型的安装板俯视示意图；

图3为本实用新型的底板俯视示意图；