[实用新型]一种晶圆切割机的可调固定装置

权利要求书

1.一种晶圆切割机的可调固定装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部的两端对称设置有第一滑槽（3），且第一滑槽（3）的内部皆均匀设置有第一滑块（18），所述第一滑块（18）的顶部设置有安装板（2），所述安装板（2）的一侧设置有步进电机（15），且步进电机（15）的输出端安装有齿轮（7），所述底板（1）顶部设置有与齿轮（7）相配合的齿条（8），所述安装板（2）两端的中间位置处皆设置有第二滑槽（13），且第二滑槽（13）的内部皆设置有第二滑块（10），所述第二滑块（10）之间设置有转杆（12），且转杆（12）皆贯穿第二滑块（10），所述转杆（12）与第二滑块（10）螺纹连接，且转杆（12）的两端皆设置有调节轮（11），所述转杆（12）外侧的一端设置有正螺纹（19），且转杆（12）外侧远离正螺纹（19）的一端设置有逆螺纹（20），所述第二滑块（10）的顶部皆设置有移动板（9），且移动板（9）的顶部皆均匀设置有鳍片（14），所述鳍片（14）的顶部皆设置有弧形固定片（5），所述安装板（2）顶部的中间位置处设置有收集槽（6），且收集槽（6）内部的底端对称设置有负压风机（17），所述负压风机（17）的输出端皆与安装板（2）的底部连通，所述收集槽（6）内部的中间位置处设置有防尘网（16）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机的可调固定装置，其特征在于：所述底板（1）顶部的四角处皆设置有螺纹孔，且底板（1）底部的四角处皆设置有橡胶垫。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机的可调固定装置，其特征在于：所述弧形固定片（5）的内侧皆均匀设置有胶条，且胶条的内侧皆设置有防滑纹。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机的可调固定装置，其特征在于：所述第一滑槽（3）内部的第一滑块（18）皆设置有三组，且相邻第一滑块（18）之间的距离相同。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机的可调固定装置，其特征在于：所述安装板（2）顶部远离步进电机（15）的一侧设置有固定挡板（4）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机的可调固定装置，其特征在于：所述移动板（9）的底部设置有耐磨涂层。