[实用新型]一种吸芯顶针机构有效
申请号: | 201821447142.2 | 申请日: | 2018-09-05 |
公开(公告)号: | CN208819853U | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 曹文文;陈志远;聂伟;姜红涛;丁培杰 | 申请(专利权)人: | 江苏汇成光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
地址: | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了芯片取放领域内的一种吸芯顶针机构,包括芯片,芯片放置在胶膜上,芯片上方设有吸晶机构,胶膜下方设有顶针帽,顶针帽包括筒形侧面,筒形侧面顶部设有支撑面,支撑面上设置有若干顶针孔,支撑面的直径为35~36mm,顶针帽内部设有顶针夹,顶针夹顶部设有至少一排顶针,顶针夹沿顶针排列方向的长度为26~27mm,顶针夹的中部设有中心顶针,中心顶针的两侧均设有辅助顶针,顶针夹的左右两侧均设置有一组侧顶针,各顶针穿过顶针孔后与芯片接触,中心顶针、辅助顶针均与芯片中部接触,侧顶针与芯片边缘接触;顶针夹下方设有升降驱动机构。本实用新型能够作业于长度为27~36mm的芯片,芯片获得较好的支撑,形成完整的真空度,避免飞晶。 | ||
搜索关键词: | 顶针 芯片 中心顶针 顶针帽 本实用新型 顶针机构 筒形侧面 顶针孔 胶膜 吸芯 支撑 升降驱动机构 顶针排列 芯片边缘 芯片放置 芯片接触 左右两侧 支撑面 取放 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种吸芯顶针机构,包括芯片,芯片放置在胶膜上,芯片上方设置有吸晶机构,其特征在于,所述胶膜下方设置有顶针帽,所述顶针帽包括筒形侧面,筒形侧面顶部设有与胶膜接触的圆形支撑面,所述支撑面上设置有若干顶针孔,所述支撑面的直径为35~36mm,顶针帽内部设置有顶针夹,顶针夹顶部设有至少一排顶针,顶针夹沿顶针排列方向的长度为26~27mm,顶针夹的中部设有中心顶针,中心顶针的两侧均设有辅助顶针,顶针夹的左右两侧均设置有一组侧顶针,各顶针穿过对应顶针孔后与芯片接触,所述中心顶针、辅助顶针均与芯片中部接触,所述侧顶针与芯片边缘接触;所述顶针夹下方设有升降驱动机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造