[实用新型]一种小间距石英舟有效
| 申请号： | 201821446270.5 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN208848872U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 崔慧敏;林罡;王鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡华源晶电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种小间距石英舟，包括侧板，所述两个侧板内部的上方的一侧安装有上支撑杆，所述上支撑杆上的内侧安装有上石英舟开槽，所述两个上石英舟开槽的中间位置的下方安装有开槽间距，所述两个上石英舟开槽的中间位置的上方安装有槽端倒角，所述下支撑杆上的上方的中间位置安装有下石英舟开槽。本实用新型的提供一种2mm间距高产能石英舟，现在大多数厂家存在原有设备改造问题，在此过程中，产能的提高没法通过加长恒温区来实现，所以减小石英舟的间距就成了唯一且最佳的解决方法。本实用新型石英舟对于提高产能来说成本低，见效快，且易于与原有设备配合，易于改造。 | ||
| 搜索关键词： | 石英舟 开槽 本实用新型 上支撑杆 原有设备 侧板 产能 下支撑杆 恒温区 槽端 倒角 加长 减小 改造 高产 配合 | ||
【主权项】：
1.一种小间距石英舟，包括侧板（2），其特征在于:所述两个侧板（2）内部的上方的一侧安装有上支撑杆（4），所述上支撑杆（4）上的内侧安装有上石英舟开槽（5），所述两个上石英舟开槽（5）的中间位置的下方安装有开槽间距（8），所述两个上石英舟开槽（5）的中间位置的上方安装有槽端倒角（9），所述两个侧板（2）内部的下方的一侧安装有下支撑杆（3），所述下支撑杆（3）上的上方的中间位置安装有下石英舟开槽（6），所述两个侧板（2）的上方安装有舟挑杆（1），所述两个侧板（2）下方的一侧安装有固定底脚（7）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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