[实用新型]一种小间距石英舟有效
| 申请号： | 201821446270.5 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN208848872U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 崔慧敏;林罡;王鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡华源晶电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英舟 开槽 本实用新型 上支撑杆 原有设备 侧板 产能 下支撑杆 恒温区 槽端 倒角 加长 减小 改造 高产 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种小间距石英舟，包括侧板（2），其特征在于:所述两个侧板（2）内部的上方的一侧安装有上支撑杆（4），所述上支撑杆（4）上的内侧安装有上石英舟开槽（5），所述两个上石英舟开槽（5）的中间位置的下方安装有开槽间距（8），所述两个上石英舟开槽（5）的中间位置的上方安装有槽端倒角（9），所述两个侧板（2）内部的下方的一侧安装有下支撑杆（3），所述下支撑杆（3）上的上方的中间位置安装有下石英舟开槽（6），所述两个侧板（2）的上方安装有舟挑杆（1），所述两个侧板（2）下方的一侧安装有固定底脚（7）。
2.根据权利要求1所述的一种小间距石英舟，其特征在于：所述侧板（2）内的中间位置的两侧设置为镂空结构，且两个镂空层设置的大小相同。
3.根据权利要求1所述的一种小间距石英舟，其特征在于：所述上石英舟开槽（5）与下石英舟开槽（6）设置的大小相同，且上石英舟开槽（5）与下石英舟开槽（6）的方向不同。
4.根据权利要求1所述的一种小间距石英舟，其特征在于：所述开槽间距（8）的间距设置为2mm,且槽端倒角（9）设置为45°。
5.根据权利要求1所述的一种小间距石英舟，其特征在于：所述上石英舟开槽（5）与下石英舟开槽（6）的边线总高度设置为3mm,且上石英舟开槽（5）与下石英舟开槽（6）的舟槽之间的距离变为0.34mm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
