[实用新型]一种小间距石英舟有效

专利信息
申请号: 201821446270.5 申请日: 2018-09-05
公开(公告)号: CN208848872U 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 崔慧敏;林罡;王鹏 申请(专利权)人: 无锡华源晶电科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡市新吴区无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 石英舟 开槽 本实用新型 上支撑杆 原有设备 侧板 产能 下支撑杆 恒温区 槽端 倒角 加长 减小 改造 高产 配合
【说明书】:

实用新型公开了一种小间距石英舟,包括侧板,所述两个侧板内部的上方的一侧安装有上支撑杆,所述上支撑杆上的内侧安装有上石英舟开槽,所述两个上石英舟开槽的中间位置的下方安装有开槽间距,所述两个上石英舟开槽的中间位置的上方安装有槽端倒角,所述下支撑杆上的上方的中间位置安装有下石英舟开槽。本实用新型的提供一种2mm间距高产能石英舟,现在大多数厂家存在原有设备改造问题,在此过程中,产能的提高没法通过加长恒温区来实现,所以减小石英舟的间距就成了唯一且最佳的解决方法。本实用新型石英舟对于提高产能来说成本低,见效快,且易于与原有设备配合,易于改造。

技术领域

本实用新型涉及石英舟技术领域,具体是一种小间距石英舟。

背景技术

石英舟又名石英玻璃,石英玻璃是以含二氧化硅物质,如水晶、硅石。四氧化硅为原料高温熔制而成。其二氧化硅含量比普通玻璃高得多,一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%。石英玻璃具有优异的光学性能,不仅可见光透光度特别好,而且透紫外线,红外线。石英玻璃是良好的耐酸材料,除氢氟酸和300度以上的热磷酸外,在高温下,它能耐硫酸,硝酸,盐酸,王水,中性盐类,碳和硫等侵蚀,其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的30倍,相当于镍铬合金和陶瓷的150倍,它耐高温,耐热震,热膨胀系数特别小。石英玻璃电学性能极佳,在常温下,它的电阻相当于普通玻璃的10倍,对全部频率的介电损失很微小,绝缘耐压强度大。石英玻璃还具有耐宇宙放射线,和不透原子核裂变产物的性质。目前阶段的石英舟存在诸多的不足之处,例如:操作不便、产能低、占空面积大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种小间距石英舟,以解决现有技术中操作不便、产能低、占空面积大的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种小间距石英舟,包括侧板,所述两个侧板内部的上方的一侧安装有上支撑杆,所述上支撑杆上的内侧安装有上石英舟开槽,所述两个上石英舟开槽的中间位置的下方安装有开槽间距,所述两个上石英舟开槽的中间位置的上方安装有槽端倒角,所述两个侧板内部的下方的一侧安装有下支撑杆,所述下支撑杆上的上方的中间位置安装有下石英舟开槽,所述两个侧板的上方安装有舟挑杆,所述两个侧板下方的一侧安装有固定底脚。

优选的,所述侧板内的中间位置的两侧设置为镂空结构,且两个镂空层设置的大小相同。

优选的,所述上石英舟开槽与下石英舟开槽设置的大小相同,且上石英舟开槽与下石英舟开槽的方向不同。

优选的,所述开槽间距的间距设置为2mm,且槽端倒角设置为45°。

优选的,所述上石英舟开槽与下石英舟开槽的边线总高度设置为3mm,且上石英舟开槽与下石英舟开槽的舟槽之间的距离变为0.34mm。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型的提供一种2mm间距高产能石英舟,现在大多数厂家存在原有设备改造问题,在此过程中,产能的提高没法通过加长恒温区来实现,所以减小石英舟的间距就成了唯一且最佳的解决方法。本实用新型石英舟对于提高产能来说成本低,见效快,且易于与原有设备配合,易于改造,在加大产量的时候,单纯的减小槽间距会破坏舟槽的尺寸,因为舟槽之间的交叉,会造成石英舟的无法加工,所以第一步先更改了舟槽的倒角角度,即将原来的60°倒角改为45°,将开槽边线切割0.2mm,这样不会损坏支撑杆的承重能力,而且舟槽之间的距离变为0.34mm,这样对于石英舟的加工来说不会产生任何影响,而且因为此方法避免了隐裂,所以还会加大石英舟使用过程中的承载力。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的侧视图。

图3为本实用新型的主视图。

图4为本实用新型上石英舟开槽的结构示意图。

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