[实用新型]一种玻璃测厚装置有效
| 申请号： | 201821386171.2 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN208567842U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 孟月;张辉;王秋海 | 申请（专利权）人： | 北京清大天达光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 叶树明 |
| 地址： | 101204 北京市平谷区马*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微电子技术领域半导体及平板显示行业,具体公开了一种玻璃测厚装置，包括：底座、型材柱、气缸、气动手指、上滑板、支架、高精度接触式传感器和接触头，所述的型材柱与底座连接，所述的气缸连接着型材柱，所述的气动手指连接着气缸，所述的气动手指上安装有上滑板和下滑板，所述上滑板和下滑板上安装有支架，所述的支架上连接有高精度接触式传感器，所述高精度接触式传感器包含有接触头，本实用新型通过气缸的垂直运动和气动手指的径向运动使得高精度传感器与接触头能够更准确的夹紧玻璃达到更好的定位，测量准确，故障率低，而且本实用新型的结构为纯机械结构，结构简单，应用广泛，安装方便，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 气动手指 接触式传感器 本实用新型 接触头 上滑板 气缸 支架 测厚装置 下滑板 玻璃 微电子技术领域 高精度传感器 纯机械结构 安装方便 底座连接 径向运动 平板显示 气缸连接 故障率 夹紧 底座 半导体 测量 应用 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃测厚装置，其特征在于，包括：底座、型材柱、气缸、气动手指、上滑板、支架、高精度接触式传感器和接触头，所述的型材柱与底座连接，所述的气缸连接着型材柱，所述的气动手指连接着气缸，所述的气动手指上安装有上滑板和下滑板，所述上滑板和下滑板上安装有支架，所述的支架上连接有高精度接触式传感器，所述高精度接触式传感器包含有接触头。
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