[实用新型]一种玻璃测厚装置有效
| 申请号： | 201821386171.2 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN208567842U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 孟月;张辉;王秋海 | 申请（专利权）人： | 北京清大天达光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 叶树明 |
| 地址： | 101204 北京市平谷区马*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气动手指 接触式传感器 本实用新型 接触头 上滑板 气缸 支架 测厚装置 下滑板 玻璃 微电子技术领域 高精度传感器 纯机械结构 安装方便 底座连接 径向运动 平板显示 气缸连接 故障率 夹紧 底座 半导体 测量 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃测厚装置，其特征在于，包括：底座、型材柱、气缸、气动手指、上滑板、支架、高精度接触式传感器和接触头，所述的型材柱与底座连接，所述的气缸连接着型材柱，所述的气动手指连接着气缸，所述的气动手指上安装有上滑板和下滑板，所述上滑板和下滑板上安装有支架，所述的支架上连接有高精度接触式传感器，所述高精度接触式传感器包含有接触头。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃测厚装置，其特征在于，所述的型材柱与底座固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃测厚装置，其特征在于，所述的上滑板和下滑板安装在气动手指的滑轨上。
4.根据权利要求1所述的一种玻璃测厚装置，其特征在于，所述的气动手指与上滑板采用螺纹连接，所述的气动手指与和下滑板采用螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种玻璃测厚装置，其特征在于，所述的气缸与型材柱通过加强筋固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种玻璃测厚装置，其特征在于，所述的气动手指与气缸通过连接板连接，所述的气缸控制气动手指上下垂直移动。
7.根据权利要求1所述的一种玻璃测厚装置，其特征在于，所述的支架加工成法兰型。
8.根据权利要求1所述的一种玻璃测厚装置，其特征在于，所述的高精度接触式传感器与支架采用间隙配合连接。
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