[实用新型]一种玻璃测厚装置

说明书

本实用新型属于微电子技术领域半导体及平板显示行业,具体公开了一种玻璃测厚装置，包括：底座、型材柱、气缸、气动手指、上滑板、支架、高精度接触式传感器和接触头，所述的型材柱与底座连接，所述的气缸连接着型材柱，所述的气动手指连接着气缸，所述的气动手指上安装有上滑板和下滑板，所述上滑板和下滑板上安装有支架，所述的支架上连接有高精度接触式传感器，所述高精度接触式传感器包含有接触头，本实用新型通过气缸的垂直运动和气动手指的径向运动使得高精度传感器与接触头能够更准确的夹紧玻璃达到更好的定位，测量准确，故障率低，而且本实用新型的结构为纯机械结构，结构简单，应用广泛，安装方便，使用方便。

【技术领域】

本实用新型属于微电子技术领域半导体及平板显示行业的测量器材领域，具体涉及一种应用在USC清洗设备中应用的玻璃测厚装置。

【背景技术】

在液晶行业中，为了提高产品的良率，需要对玻璃基本进行清洗，USC超声波清洗机就是专门对玻璃基板进行清洗的设备。为了提高清洗的效果，需要对玻璃基板的厚度进行实时测量，现有的测量仪器大多利用其它玻璃测量仪器，结构复杂、测量工序繁琐、使用很不方便，故障率高，很难应用在液晶行业玻璃基板的测量上，因此，如何对玻璃基板的既简单又方便快捷测量成为需要解决的问题。

【发明内容】

本实用新型的目的在于解决上述技术问题，提供一种结构简单，使用方便，故障率低的一种玻璃厚度测量装置。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种玻璃测厚装置，包括：底座、型材柱、气缸、气动手指、上滑板、支架、高精度接触式传感器和接触头，所述的型材柱与底座连接，所述的气缸连接着型材柱，所述的气动手指连接着气缸，所述的气动手指上安装有上滑板和下滑板，所述上滑板和下滑板上安装有支架，所述的支架上连接有高精度接触式传感器，所述高精度接触式传感器包含有接触头。

进一步的，所述的型材柱与底座固定连接。

进一步的，所述的上滑板和下滑板安装在气动手指的滑轨上。

进一步的，所述的气动手指与上滑板采用螺纹连接，所述的气动手指与和下滑板采用螺纹连接。

进一步的，所述的气缸与型材柱通过加强筋固定连接。

进一步的，所述的气动手指与气缸通过连接板连接，所述的气缸控制气动手指上下垂直移动。

进一步的，所述的支架加工成法兰型。

进一步的，所述的高精度接触式传感器与支架采用间隙配合连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过气缸的垂直运动和气动手指的径向运动使得高精度传感器与接触头能够更准确的夹紧玻璃达到更好的定位，测量准确，故障率低，而且本实用新型的结构为纯机械结构，结构简单，应用广泛，安装方便；使用时只需将上下滑板上的接触头夹紧玻璃基板即可实现测量，使用方便。

【附图说明】

此处所说明的附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，但并不构成对本实用新型的不当限定，在附图中：

图1是本实用新型的未夹持玻璃基板的状态示意图；

图2是本实用新型的夹持载体状态示意图；

图3是本实用新型支架的结构示意图；

图4是本实用新型的连接板的结构示意图；

图5是本实用新型的上滑板的结构示意图；

图6是本实用新型的下滑板的结构示意图；