[实用新型]一种半导体晶圆安装机台

摘要

本实用新型公开了一种半导体晶圆安装机台，包括限位槽、桌板、第一滑块和第二限位块，所述桌板的上表面开设有限位槽，所述限位槽的底端贯穿开设有固定槽，所述桌板的表面固定有第一限位块，所述第二限位块的底端表面设有第二滑块，所述第二限位块通过限位槽、固定槽、第二滑块和螺纹柱滑动安装在桌板上，所述桌板通过支柱固定有限位杆，所述限位杆上滑动安装有滑杆，所述第一滑块的顶端表面安装有把手，所述第一滑块的顶端表面位于把手的一侧安装有换向阀，所述第一滑块的下方设有螺纹杆，所述第一滑块通过螺纹杆滑动安装有固定块。本实用新型具备可使晶圆准确安装在基座内，且安装时无需使用手直接接触晶圆，从而防止晶圆的品质降低的优点。

主权项

1.一种半导体晶圆安装机台，包括限位槽(2)、桌板(3)、第一滑块(8)和第二限位块(13)，其特征在于：所述桌板(3)的上表面开设有限位槽(2)，所述限位槽(2)的底端贯穿开设有固定槽(7)，所述桌板(3)的表面固定有第一限位块(6)，所述第二限位块(13)的底端表面设有第二滑块(15)，所述第二滑块(15)的底端焊接有螺纹柱(16)，螺纹柱(16)的底端位于桌板外侧安装有螺母(17)，所述第二限位块(13)通过限位槽(2)、固定槽(7)、第二滑块(15)和螺纹柱(16)滑动安装在桌板(3)上，所述桌板(3)的上表面固定有支柱(14)，所述桌板(3)通过支柱(14)固定有限位杆(1)，所述限位杆(1)上滑动安装有滑杆(4)，所述滑杆(4)上开设有固定孔(5)，所述限位杆(1)背离滑杆(4)的一端滑动安装有第一滑块(8)，所述第一滑块(8)的顶端表面安装有把手(10)，所述第一滑块(8)的顶端表面位于把手(10)的一侧安装有换向阀(9)，所述第一滑块(8)的下方设有螺纹杆(20)，所述第一滑块(8)通过螺纹杆(20)滑动安装有固定块(18)。