[实用新型]一种半导体晶圆安装机台有效
| 申请号： | 201821321194.5 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN208570557U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王成;徐晶骥 | 申请（专利权）人： | 上海东煦电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 第一滑块 桌板 限位块 滑动安装 限位槽 晶圆 机台 半导体晶圆 本实用新型 第二滑块 顶端表面 固定槽 螺纹杆 底端 把手 表面固定 固定块 换向阀 螺纹柱 上表面 限位杆 滑杆 位槽 位杆 贯穿 | ||
1.一种半导体晶圆安装机台，包括限位槽(2)、桌板(3)、第一滑块(8)和第二限位块(13)，其特征在于：所述桌板(3)的上表面开设有限位槽(2)，所述限位槽(2)的底端贯穿开设有固定槽(7)，所述桌板(3)的表面固定有第一限位块(6)，所述第二限位块(13)的底端表面设有第二滑块(15)，所述第二滑块(15)的底端焊接有螺纹柱(16)，螺纹柱(16)的底端位于桌板外侧安装有螺母(17)，所述第二限位块(13)通过限位槽(2)、固定槽(7)、第二滑块(15)和螺纹柱(16)滑动安装在桌板(3)上，所述桌板(3)的上表面固定有支柱(14)，所述桌板(3)通过支柱(14)固定有限位杆(1)，所述限位杆(1)上滑动安装有滑杆(4)，所述滑杆(4)上开设有固定孔(5)，所述限位杆(1)背离滑杆(4)的一端滑动安装有第一滑块(8)，所述第一滑块(8)的顶端表面安装有把手(10)，所述第一滑块(8)的顶端表面位于把手(10)的一侧安装有换向阀(9)，所述第一滑块(8)的下方设有螺纹杆(20)，所述第一滑块(8)通过螺纹杆(20)滑动安装有固定块(18)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆安装机台，其特征在于：所述固定孔(5)共设有两个，且两个固定孔(5)在滑杆(4)的两端对称分布，所述固定孔(5)的开设位置与滑杆(4)内的限位杆(1)的位置相对应，且固定孔(5)内设有固定螺栓。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆安装机台，其特征在于：所述固定块(18)的底端表面均匀等距安装有吸盘(19)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆安装机台，其特征在于：所述螺纹杆(20)位于第一滑块(8)外侧的一端安装有转盘(11)，所述转盘(11)的表面安装有转柄(12)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆安装机台，其特征在于：所述把手(10)位于第一滑块(8)的中心处。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆安装机台，其特征在于：所述固定孔(5)和第一滑块(8)开设有与限位杆(1)相适配的通孔，固定孔(5)和第一滑块(8)通过通孔滑动安装在限位杆(1)上。
7.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆安装机台，其特征在于：所述限位杆(1)共设有两个，且两个限位杆(1)在桌板(3)的上表面对称分布，两个所述限位杆(1)的底端表面均设有两个支柱(14)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
