[实用新型]一种硅电极环的台阶抛光设备有效
| 申请号： | 201821268030.0 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN208601309U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 潘连胜;潘一鸣;戴伟鹏 | 申请（专利权）人： | 福建精工半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22;B24B55/03 |
| 代理公司： | 北京金蓄专利代理有限公司 11544 | 代理人： | 孙巍 |
| 地址： | 362300 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种硅电极环的台阶抛光设备，包括支架、设于支架顶面的支撑台以及设于支撑台上方的转动台，所述支撑台的顶面设有油缸，该油缸的活塞杆朝上，该活塞杆的顶面与一箱体的底面连接，所述箱体的前端设有转动轴，该转动轴的顶端位于箱体内，该转动轴的底端伸出箱体外，所述箱体的后端设有第一电机，该第一电机与转动轴传动连接，所述支撑台的后端设有第二电机，该第二电机与转动台传动连接，所述转动台的顶面与硅电极环相适配，该转动台的顶面设有可拆卸的压环，所述转动轴的底端设有磨头，该磨头的底面设有一台阶，该台阶上设有抛光带，所述油缸、第一电机及第二电机均受控于一控制系统。本设备采用自动抛光的方式，提高了硅电极环的抛光效率及精度。 | ||
| 搜索关键词： | 转动轴 电机 硅电极 转动台 顶面 支撑台 油缸 传动连接 抛光设备 活塞杆 底端 底面 磨头 可拆卸的 控制系统 抛光效率 自动抛光 抛光带 支架顶 朝上 适配 受控 压环 支架 伸出 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种硅电极环的台阶抛光设备，其特征在于：包括支架、设于支架顶面的支撑台以及设于支撑台上方的转动台，所述支撑台的顶面设有油缸，该油缸的活塞杆朝上，该活塞杆的顶面与一箱体的底面连接，所述箱体的前端设有转动轴，该转动轴的顶端位于箱体内，该转动轴的底端伸出箱体外，所述箱体的后端设有第一电机，该第一电机与转动轴传动连接，所述支撑台的后端设有第二电机，该第二电机与转动台传动连接，所述转动台的顶面与硅电极环相适配，该转动台的顶面设有可拆卸的压环，所述转动轴的底端设有磨头，该磨头的底面设有一台阶，该台阶上设有抛光带，所述油缸、第一电机及第二电机均受控于一控制系统。
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