[实用新型]一种硅电极环的台阶抛光设备有效
申请号: | 201821268030.0 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN208601309U | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 潘连胜;潘一鸣;戴伟鹏 | 申请(专利权)人: | 福建精工半导体有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22;B24B55/03 |
代理公司: | 北京金蓄专利代理有限公司 11544 | 代理人: | 孙巍 |
地址: | 362300 福建省泉州市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转动轴 电机 硅电极 转动台 顶面 支撑台 油缸 传动连接 抛光设备 活塞杆 底端 底面 磨头 可拆卸的 控制系统 抛光效率 自动抛光 抛光带 支架顶 朝上 适配 受控 压环 支架 伸出 支撑 | ||
1.一种硅电极环的台阶抛光设备,其特征在于:包括支架、设于支架顶面的支撑台以及设于支撑台上方的转动台,所述支撑台的顶面设有油缸,该油缸的活塞杆朝上,该活塞杆的顶面与一箱体的底面连接,所述箱体的前端设有转动轴,该转动轴的顶端位于箱体内,该转动轴的底端伸出箱体外,所述箱体的后端设有第一电机,该第一电机与转动轴传动连接,所述支撑台的后端设有第二电机,该第二电机与转动台传动连接,所述转动台的顶面与硅电极环相适配,该转动台的顶面设有可拆卸的压环,所述转动轴的底端设有磨头,该磨头的底面设有一台阶,该台阶上设有抛光带,所述油缸、第一电机及第二电机均受控于一控制系统。
2.如权利要求1所述的一种硅电极环的台阶抛光设备,其特征在于:所述支撑台的顶面设有罩壳,所述转动台位于罩壳内,所述罩壳的顶面叠设有挡水板,该挡水板的前端留有取件口,所述支架的一侧设有装有冷却液的储液槽,该储液槽的侧面设有与其内部连通的水泵,该水泵与一冷却液管的一端连通,该冷却液管的另一端穿过挡水板并对着磨头,所述罩壳的一侧面设有出液口,该出液口与一斜向下设置的出液通道连通,该出液通道位于储液槽的上方。
3.如权利要求1所述的一种硅电极环的台阶抛光设备,其特征在于:所述转动轴的顶端与一第一从皮带轮连接,所述第一电机的输出轴伸入箱体内并与一第一主皮带轮连接,所述第一主皮带轮和第一从皮带轮之间设有第一皮带。
4.如权利要求1所述的一种硅电极环的台阶抛光设备,其特征在于:所述转动台的底面与一传动轴的顶端连接,该传动轴的中部与一第二从皮带轮连接,所述第二电机的输出轴伸入支撑台的后端内并与一第二主皮带轮连接,所述第二主皮带轮和第二从皮带轮之间设有第二皮带。
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