[实用新型]光刻胶涂布装置

摘要

本实用新型提供一种光刻胶涂布装置，包括晶圆承载台及光刻胶供给系统；光刻胶供给系统位于晶圆承载台的一侧，包括光刻胶供应管路、光刻胶喷嘴、流量调节阀、第一流量检测器及第二流量检测器；光刻胶供应管路一端与一光刻胶供应源相连接；光刻胶喷嘴与光刻胶供应管路远离光刻胶供应源的一端相连接；流量调节阀位于光刻胶供应管路上；第一流量检测器位于流量调节阀和光刻胶喷嘴之间的光刻胶供应管路上；第二流量检测器位于光刻胶喷嘴和第一流量检测器之间的光刻胶供应管路上，第二流量检测器和第一流量检测器之间具有间距。本实用新型的光刻胶涂布装置，能够及时发现因光刻胶供应管路破裂导致的光刻胶涂布量减少引发的工艺不良，提高生产良率。

主权项

1.一种光刻胶涂布装置，其特征在于，包括：晶圆承载台；光刻胶供给系统，位于所述晶圆承载台的一侧，包括光刻胶供应管路、光刻胶喷嘴、流量调节阀、第一流量检测器及第二流量检测器；所述光刻胶供应管路一端与一光刻胶供应源相连接；所述光刻胶喷嘴与所述光刻胶供应管路远离所述光刻胶供应源的一端相连接；所述流量调节阀位于所述光刻胶供应管路上；所述第一流量检测器位于所述流量调节阀和所述光刻胶喷嘴之间的所述光刻胶供应管路上；所述第二流量检测器位于所述光刻胶喷嘴和所述第一流量检测器之间的所述光刻胶供应管路上，所述第二流量检测器和所述第一流量检测器之间具有间距。