[实用新型]光刻胶涂布装置

权利要求书

1.一种光刻胶涂布装置，其特征在于，包括：

晶圆承载台；

光刻胶供给系统，位于所述晶圆承载台的一侧，包括光刻胶供应管路、光刻胶喷嘴、流量调节阀、第一流量检测器及第二流量检测器；所述光刻胶供应管路一端与一光刻胶供应源相连接；所述光刻胶喷嘴与所述光刻胶供应管路远离所述光刻胶供应源的一端相连接；所述流量调节阀位于所述光刻胶供应管路上；所述第一流量检测器位于所述流量调节阀和所述光刻胶喷嘴之间的所述光刻胶供应管路上；所述第二流量检测器位于所述光刻胶喷嘴和所述第一流量检测器之间的所述光刻胶供应管路上，所述第二流量检测器和所述第一流量检测器之间具有间距。

2.根据权利要求1所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶涂布装置还包括将所述第一流量检测器的检测结果与所述第二流量检测器的检测结果进行比对的比较器，所述比较器与所述第一流量检测器和所述第二流量检测器相连接。

3.根据权利要求2所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶涂布装置还包括报警器，所述报警器与所述比较器相连接。

4.根据权利要求2所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述比较器还与所述流量调节阀相连接。

5.根据权利要求1所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶涂布装置还包括抓取光刻胶喷嘴的光刻胶喷嘴抓取臂，所述光刻胶喷嘴抓取臂位于所述晶圆承载台的一侧。

6.根据权利要求5所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶涂布装置还包括驱动所述光刻胶喷嘴抓取臂移动的气缸，所述气缸与所述光刻胶喷嘴抓取臂相连接。

7.根据权利要求5所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶涂布装置还包括光刻胶喷嘴卡槽，所述光刻胶喷嘴卡槽位于所述晶圆承载台的一侧。

8.根据权利要求7所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶喷嘴卡槽还包括卡槽盖。

9.根据权利要求1所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶供给系统为多个。

10.根据权利要求1至9任一项所述的光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶涂布装置还包括旋转基座，所述旋转基座与所述晶圆承载台相连接。