[实用新型]弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构有效
| 申请号： | 201821246602.5 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN208735647U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 徐科;阚保国;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06;F23G5/44 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，包括：内部设有弯曲型燃烧腔室的腔体，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部；与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通的进气口；与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通的排气口；以及对应设置于各所述弯曲部处且与所述弯曲型燃烧腔室相连通的若干个燃烧头。本实用新型可满足对半导体工艺中有害的制程气体进行充分燃烧的需求；通过引入多个弯曲部和燃烧头，实现了对制程气体的充分燃烧，提升了尾气处理效率，避免了有害气体排放。 | ||
| 搜索关键词： | 弯曲型 燃烧头 燃烧腔室 尾气处理 弯曲部 本实用新型 充分燃烧 腔体结构 燃烧腔 室内部 制程 进气口 半导体工艺 气体排放 一体连接 排气口 腔体 引入 | ||
【主权项】：
1.一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，包括：腔体，内部设有弯曲型燃烧腔室，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部，相邻的所述弯曲部的弯曲方向相反；进气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；排气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；若干个燃烧头，若干个所述燃烧头对应设置于各所述弯曲部处，且所述燃烧头与所述弯曲型燃烧腔室相连通。
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