[实用新型]弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构有效
| 申请号： | 201821246602.5 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN208735647U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 徐科;阚保国;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06;F23G5/44 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弯曲型 燃烧头 燃烧腔室 尾气处理 弯曲部 本实用新型 充分燃烧 腔体结构 燃烧腔 室内部 制程 进气口 半导体工艺 气体排放 一体连接 排气口 腔体 引入 | ||
1.一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，包括：
腔体，内部设有弯曲型燃烧腔室，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部，相邻的所述弯曲部的弯曲方向相反；
进气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；
排气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；
若干个燃烧头，若干个所述燃烧头对应设置于各所述弯曲部处，且所述燃烧头与所述弯曲型燃烧腔室相连通。
2.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，所述弯曲型燃烧腔室为包含两个所述弯曲部的S型燃烧腔室。
3.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，所述燃烧头所形成的火焰范围完全覆盖所述弯曲部处的腔室空间。
4.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，若干个所述燃烧头分别位于所述弯曲型燃烧腔室的同一侧。
5.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲型燃烧腔室的不同侧。
6.根据权利要求5所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲部的内侧。
7.根据权利要求5所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲部的外侧。
8.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，还包括气体混合腔室及若干个进气管路，所述气体混合腔室位于所述进气管路与所述进气口之间，且与所述进气管路及所述弯曲型燃烧腔室相连通。
9.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，所述腔体包括：
隔热板，位于所述弯曲型燃烧腔室外围；
冷却水夹层，位于所述隔热板外围。
10.根据权利要求9所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，所述隔热板包括陶瓷隔热板。
11.根据权利要求1所述的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，所述弯曲部的弯曲角度介于60°～170°。
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