[实用新型]弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构

说明书

本实用新型提供了一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，包括：内部设有弯曲型燃烧腔室的腔体，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部；与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通的进气口；与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通的排气口；以及对应设置于各所述弯曲部处且与所述弯曲型燃烧腔室相连通的若干个燃烧头。本实用新型可满足对半导体工艺中有害的制程气体进行充分燃烧的需求；通过引入多个弯曲部和燃烧头，实现了对制程气体的充分燃烧，提升了尾气处理效率，避免了有害气体排放。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构。

背景技术

在现今的半导体制造工艺中，尾气处理设备是通过燃烧或吸附来减少半导体工艺中排放的尾气的有害成分，达到保护环境，净化空气的一种环保设备。其中，燃烧水洗式尾气处理设备采用天然气加助燃气体燃烧产生高温，使制程气体在高温条件下氧化分解，通过反应形成无害或者可溶于水的气体以供后续水洗处理。如果制程气体在燃烧腔内部不能得到完全燃烧，处理效率就无法达到要求；而直接排放有害气体则会危害到环境。如图1所示，是现有的单燃烧头直通式腔体设计。在该设计结构中，由于采用了单个的燃烧头101，其产生的燃烧火焰102无法使从进气管路103进入的制程气体104充分燃烧，导致处理效率低下及部分制程气体104外泄的情况出现。

因此，针对燃烧水洗式尾气处理设备中确保制程气体充分燃烧的应用需求，有必要提出一种新的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，以解决上述问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种新的弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，用于解决现有技术无法确保制程气体充分燃烧的问题。

为实现上述目的及其它相关目的，本实用新型提供一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，其特征在于，包括：

腔体，内部设有弯曲型燃烧腔室，所述弯曲型燃烧腔室包括若干个依次一体连接的弯曲部，相邻的所述弯曲部的弯曲方向相反；

进气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；

排气口，与所述弯曲型燃烧腔室内部相连通；

若干个燃烧头，若干个所述燃烧头对应设置于各所述弯曲部处，且所述燃烧头与所述弯曲型燃烧腔室相连通。

作为本实用新型的一种优选方案，所述弯曲型燃烧腔室为包含两个所述弯曲部的S型燃烧腔室。

作为本实用新型的一种优选方案，所述燃烧头所形成的火焰范围完全覆盖所述弯曲部处的腔室空间。

作为本实用新型的一种优选方案，若干个所述燃烧头分别位于所述弯曲型燃烧腔室的同一侧。

作为本实用新型的一种优选方案，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲型燃烧腔室的不同侧。

作为本实用新型的一种优选方案，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲部的内侧。

作为本实用新型的一种优选方案，若干个所述燃烧头均位于所述弯曲部的外侧。

作为本实用新型的一种优选方案，所述弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构还包括气体混合腔室及若干个进气管路，所述气体混合腔室位于所述进气管路与所述进气口之间，且与所述进气管路及所述弯曲型燃烧腔室相连通。

作为本实用新型的一种优选方案，所述腔体包括：隔热板，位于所述弯曲型燃烧腔室外围；冷却水夹层，位于所述隔热板外围。

作为本实用新型的一种优选方案，所述隔热板包括陶瓷隔热板。

作为本实用新型的一种优选方案，所述弯曲部的弯曲角度介于60°～170°。

如上所述，本实用新型提供一种弯曲型多燃烧头尾气处理腔体结构，具有以下有益效果：