[实用新型]一种真空涂层机有效
申请号: | 201821239015.3 | 申请日: | 2018-08-02 |
公开(公告)号: | CN208604199U | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 陈金海;刘涛;金勇超;梁文勇 | 申请(专利权)人: | 科汇纳米技术(常州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人: | 王彩君 |
地址: | 213135 江苏省常州市新北区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空涂层机,包括密封箱和真空泵,密封箱内部通过隔板分隔为工作室和机械室,工作室两侧的密封箱内壁对应安装有四组转动机构,四组转动结构的一侧对应安装有四组基板,四组基板远离四组转动机构的一侧对应安装有四组靶材,本实用新型,利用液压缸工作使液压缸的活塞杆移动,由液压缸的活塞杆移顶推活动盖移动控制密封箱顶部开口的开合,便于保证密封箱的密封性,同时提高活动门开合的灵活性,便于涂层的质量;利用转动机构的气缸工作,由气缸的活塞杆的伸缩顶推直杆转动,直杆转动调整靶材的朝向,便于对工件的不同面进行涂层作业,提高涂层的效果和整个装置的适应性。 | ||
搜索关键词: | 转动机构 密封箱 液压缸 本实用新型 真空涂层机 活塞杆 工作室 靶材 顶推 基板 开合 气缸 直杆 隔板 活塞杆移动 密封箱内壁 顶部开口 涂层作业 移动控制 转动调整 转动结构 活动盖 活动门 机械室 密封性 真空泵 伸缩 分隔 密封 转动 保证 | ||
【主权项】:
1.一种真空涂层机,包括密封箱(1)和真空泵(4),其特征在于:所述密封箱(1)内部通过隔板分隔为工作室(2)和机械室(3),所述工作室(2)两侧的密封箱(1)内壁对应安装有四组转动机构(8),四组所述转动机构(8)的一侧对应安装有四组基板(7),四组所述基板(7)远离四组转动机构(8)的一侧对应安装有四组靶材(6),所述密封箱(1)外部的两侧相对应于四组转动机构(8)的位置安装有四组电弧发生器(9),所述密封箱(1)顶部开口的两侧对应安装有两组液压缸(10),两组所述液压缸(10)的活塞杆末端对应通过两根连杆(14)连接活动盖(11)的两侧,所述工作室(2)内部的下侧水平焊接有隔离网(13),所述隔离网(13)的顶部水平安装有加热板(5),所述机械室(3)的内部安装有真空泵(4),所述转动机构(8)包括直杆(81)、底箱(82)和连接耳(83),所述连接耳(83)通过螺栓固定在底箱(82)一侧的中部,所述连接耳(83)通过销轴转动连接直杆(81)的一端。
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