[实用新型]一种真空涂层机有效
| 申请号： | 201821239015.3 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN208604199U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 陈金海;刘涛;金勇超;梁文勇 | 申请（专利权）人： | 科汇纳米技术（常州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 王彩君 |
| 地址： | 213135 江苏省常州市新北区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 转动机构 密封箱 液压缸 本实用新型 真空涂层机 活塞杆 工作室 靶材 顶推 基板 开合 气缸 直杆 隔板 活塞杆移动 密封箱内壁 顶部开口 涂层作业 移动控制 转动调整 转动结构 活动盖 活动门 机械室 密封性 真空泵 伸缩 分隔 密封 转动 保证 | ||
1.一种真空涂层机，包括密封箱(1)和真空泵(4)，其特征在于：所述密封箱(1)内部通过隔板分隔为工作室(2)和机械室(3)，所述工作室(2)两侧的密封箱(1)内壁对应安装有四组转动机构(8)，四组所述转动机构(8)的一侧对应安装有四组基板(7)，四组所述基板(7)远离四组转动机构(8)的一侧对应安装有四组靶材(6)，所述密封箱(1)外部的两侧相对应于四组转动机构(8)的位置安装有四组电弧发生器(9)，所述密封箱(1)顶部开口的两侧对应安装有两组液压缸(10)，两组所述液压缸(10)的活塞杆末端对应通过两根连杆(14)连接活动盖(11)的两侧，所述工作室(2)内部的下侧水平焊接有隔离网(13)，所述隔离网(13)的顶部水平安装有加热板(5)，所述机械室(3)的内部安装有真空泵(4)，所述转动机构(8)包括直杆(81)、底箱(82)和连接耳(83)，所述连接耳(83)通过螺栓固定在底箱(82)一侧的中部，所述连接耳(83)通过销轴转动连接直杆(81)的一端。
2.根据权利要求1所述的一种真空涂层机，其特征在于：所述转动机构(8)还包括气缸(84)，两组所述气缸(84)的底板对应转动连接底箱(82)一侧的上部和下部，两组所述气缸(84)的活塞杆末端对应连接直杆(81)中部的两侧。
3.根据权利要求1所述的一种真空涂层机，其特征在于：所述直杆(81)的另一端通过螺栓连接基板(7)一侧的中部，四组所述靶材(6)通过四根导线连接四组对应的电弧发生器(9)。
4.根据权利要求1所述的一种真空涂层机，其特征在于：所述真空泵(4)两侧的进口密封连接两根输气管(12)的一端，两根所述输气管(12)的另一端连通工作室(2)的底部。
5.根据权利要求1所述的一种真空涂层机，其特征在于：所述密封箱(1)顶部在开口的两侧对应安装有两组导轨(15)，两组所述导轨(15)外部对应滑动安装有两根连杆(14)中部焊接的滑座。
6.根据权利要求1所述的一种真空涂层机，其特征在于：所述加热板(5)通过导线连接外部的电源，所述密封箱(1)的底部呈矩形安装有四组导轮。
7.根据权利要求1所述的一种真空涂层机，其特征在于：所述底箱(82)的一侧开设有供直杆(81)穿过的通孔，所述密封箱(1)顶部的开口外缘安装有密封圈。
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