[实用新型]光电转换阵列基板及光电转换装置

摘要

本实用新型提供了一种光电转换阵列基板及光电转换装置，所述光电转换阵列基板包括：衬底基板；位于衬底基板上的薄膜晶体管，包括栅极、设置于栅极上的栅极绝缘层、设置于栅极绝缘层上的有源层及位于有源层上的源极和漏极；位于衬底基板上的光电检测单元，包括位于衬底基板上的信号输出电极、光敏层和透光电极，信号输出电极与漏极电连接；源极和漏极上覆盖有第一保护层，在第一保护层上设有遮光层，遮光层在衬底基板上的正投影至少覆盖住有源层在衬底基板上的正投影。本实用新型提供的光电转换阵列基板及光电转换装置可改善元器件TFT开关电路光感特性，减小漏电流，提高光电检测的成像精度，避免成像时造成误判。

主权项

1.一种光电转换阵列基板，包括：衬底基板；位于所述衬底基板上的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极、设置于所述栅极上的栅极绝缘层、设置于所述栅极绝缘层上的有源层及位于所述有源层上的源极和漏极；及，位于所述衬底基板上的光电检测单元，所述光电检测单元包括位于所述衬底基板上的信号输出电极、位于所述信号输出电极上的光敏层、及位于所述光敏层上的透光电极，所述信号输出电极与所述漏极电连接；其特征在于，所述源极和所述漏极上覆盖有第一保护层，在所述第一保护层上设有遮光层，所述遮光层在所述衬底基板上的正投影至少覆盖住所述有源层在所述衬底基板上的正投影。