[实用新型]光电转换阵列基板及光电转换装置

权利要求书

1.一种光电转换阵列基板，包括：

衬底基板；

位于所述衬底基板上的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极、设置于所述栅极上的栅极绝缘层、设置于所述栅极绝缘层上的有源层及位于所述有源层上的源极和漏极；

及，位于所述衬底基板上的光电检测单元，所述光电检测单元包括位于所述衬底基板上的信号输出电极、位于所述信号输出电极上的光敏层、及位于所述光敏层上的透光电极，所述信号输出电极与所述漏极电连接；

其特征在于，所述源极和所述漏极上覆盖有第一保护层，在所述第一保护层上设有遮光层，所述遮光层在所述衬底基板上的正投影至少覆盖住所述有源层在所述衬底基板上的正投影。

2.根据权利要求1所述的光电转换阵列基板，其特征在于，

所述信号输出电极不透光，且所述信号输出电极与所述遮光层为同层且同材料设置。

3.根据权利要求2所述的光电转换阵列基板，其特征在于，

所述信号输出电极与所述遮光层连为一体结构。

4.根据权利要求2所述的光电转换阵列基板，其特征在于，

所述第一保护层的一部分覆盖于所述源极和所述漏极上，并在与所述漏极对应的位置设置第一过孔；

所述第一保护层的另一部分覆盖于所述栅极绝缘层上，所述光电检测单元设置在所述第一保护层的覆盖于所述栅极绝缘层的部分上，且所述信号输出电极通过所述第一过孔与所述漏极电连接。

5.根据权利要求4所述的光电转换阵列基板，其特征在于，

所述光电检测单元和所述薄膜晶体管上还覆盖有平坦层；

所述平坦层上覆盖有第二保护层；

所述光电转换阵列基板上还设置有信号线，所述信号线设置于所述第二保护层上，所述平坦层与所述第二保护层在与所述光电检测单元的透明电极对应的位置设置第二过孔，所述信号线通过所述第二过孔与所述透光电极电连接。

6.根据权利要求5所述的光电转换阵列基板，其特征在于，

所述第二保护层上还设有覆盖所述信号线的第三保护层。

7.根据权利要求1至6任一项所述的光电转换阵列基板，其特征在于，

所述光敏层包括：

将X射线光子转换为可见光的闪烁体层和荧光体层；

及，用于将经所述闪烁体层和荧光体层转换后的可见光转换为电信号的光电二极管。

8.一种光电转换装置，其特征在于，包括如权利要求1至7任一项所述的光电转换阵列基板。