[实用新型]基板的乘载台

摘要

本实用新型提供一种基板的乘载台，用于在一平台乘载面积相异的大型、中型、小型基板。本实用新型的解决装置为：在旋转桌台(4)两侧分别并行排列具有空气喷出孔(9)的中心侧棒材(6)及中间侧棒材(7)、以及具有喷出兼吸孔(10)的外侧棒材(8)，该旋转桌台(4)设置于座台(1)上面中央且设有孔(5)，并分别以第1进退移动装置(B)、第2进退移动装置(C)、及第3进退移动装置(D)单独移动，此外中心侧棒材(6)及中间侧棒材(7)分别凭借第1升降装置(14)及第2升降装置(17)而升降，以该升降及进退移动装置对应大型、中型、小型基板的面积而改变并列位置并乘载。

主权项

1.一种基板的乘载台，其特征是包括：水平的座台；支柱，由上述座台的上面中央立起并通过旋转装置旋转；附抽吸装置的旋转桌台，上述抽吸装置保持供给基板的中心下面，上述供给基板设置于上述支柱上端；中心侧、中间侧、外侧的并列棒材，是在上述支柱两侧并以并列复数条为一组，且由上述支柱侧中央两侧往两端突出的长度以中心侧、中间侧、外侧依序增长；空气喷出孔群，设置于上述中心侧及中间侧棒材的上述基板的乘载面；空气喷出兼吸孔群，设置于上述外侧棒材的上述基板的乘载面；脚材，由上述两外侧棒材两端往下方突出；第1滑轨，与设置于上述脚材下端的第1滑件自由滑动地卡合，并以在上述座台上横切上述外侧棒材的方式设置；第1升降装置，是在上述中间侧棒材两端连接上端；第2滑轨，与设置于上述第1升降装置下端的第2滑件自由滑动地卡合，并以在上述座台上横切上述中间侧棒材的方式设置；第2升降装置，是在上述中心侧棒材两端连接上端；第3滑轨，与设置于上述第2升降装置下端的第3滑件自由滑动地卡合，并以在上述座台横切上述中心侧棒材的方式设置；第1进退移动装置，以使上述两外侧棒材在接近、分离方向滑动的方式设置；第2进退移动装置，以使上述两中间侧棒材在接近、分离方向滑动的方式设置；及第3进退移动装置，以使上述两中心侧棒材在接近、分离方向滑动的方式设置。