[实用新型]基板的乘载台

权利要求书

1.一种基板的乘载台，其特征是包括：

水平的座台；

支柱，由上述座台的上面中央立起并通过旋转装置旋转；

附抽吸装置的旋转桌台，上述抽吸装置保持供给基板的中心下面，上述供给基板设置于上述支柱上端；

中心侧、中间侧、外侧的并列棒材，是在上述支柱两侧并以并列复数条为一组，且由上述支柱侧中央两侧往两端突出的长度以中心侧、中间侧、外侧依序增长；

空气喷出孔群，设置于上述中心侧及中间侧棒材的上述基板的乘载面；

空气喷出兼吸孔群，设置于上述外侧棒材的上述基板的乘载面；

脚材，由上述两外侧棒材两端往下方突出；

第1滑轨，与设置于上述脚材下端的第1滑件自由滑动地卡合，并以在上述座台上横切上述外侧棒材的方式设置；

第1升降装置，是在上述中间侧棒材两端连接上端；

第2滑轨，与设置于上述第1升降装置下端的第2滑件自由滑动地卡合，并以在上述座台上横切上述中间侧棒材的方式设置；

第2升降装置，是在上述中心侧棒材两端连接上端；

第3滑轨，与设置于上述第2升降装置下端的第3滑件自由滑动地卡合，并以在上述座台横切上述中心侧棒材的方式设置；

第1进退移动装置，以使上述两外侧棒材在接近、分离方向滑动的方式设置；

第2进退移动装置，以使上述两中间侧棒材在接近、分离方向滑动的方式设置；及

第3进退移动装置，以使上述两中心侧棒材在接近、分离方向滑动的方式设置。

2.如权利要求1所述的基板的乘载台，其特征在于：凭借移动导引装置而以在棒材长方向进退移动的方式导引前述座台，并凭借移动装置使上述座台进退移动，又设置有研磨旋转砥石，上述研磨旋转砥石能够凭借调整装置调整前述座台的移动路两侧的左右对向间隔，且可凭借升降装置在上下方向升降。

3.如权利要求1所述的基板的乘载台，其特征在于：凭借移动导引装置而以在棒材长方向进退移动的方式导引前述座台，并凭借移动装置使前述座台进退移动，设置横切于上述移动导引装置上方的水平框，使滑件自由滑动地卡合于滑轨，上述滑轨设置于上述水平框两端间，并设置使上述滑件来回移动的移动装置，并在上述滑件设置通过升降装置升降的切划切割器。