[实用新型]基板的乘载台

说明书

本实用新型提供一种基板的乘载台，用于在一平台乘载面积相异的大型、中型、小型基板。本实用新型的解决装置为：在旋转桌台(4)两侧分别并行排列具有空气喷出孔(9)的中心侧棒材(6)及中间侧棒材(7)、以及具有喷出兼吸孔(10)的外侧棒材(8)，该旋转桌台(4)设置于座台(1)上面中央且设有孔(5)，并分别以第1进退移动装置(B)、第2进退移动装置(C)、及第3进退移动装置(D)单独移动，此外中心侧棒材(6)及中间侧棒材(7)分别凭借第1升降装置(14)及第2升降装置(17)而升降，以该升降及进退移动装置对应大型、中型、小型基板的面积而改变并列位置并乘载。

技术领域

本实用新型涉及玻璃等需要加工的基板的乘载台。

背景技术

已知将液晶面板或板玻璃等基板乘载于台上，并凭借旋转研磨构件(旋转砥石)研磨基板边缘(例如参照专利文献1及2)。

又，已知以切割轮切划乘载于台(桌台)上的基板边缘(例如参照专利文献3)。

[背景技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利第5046775号公报。

专利文献2：日本特开2006-110642号公报。

专利文献3：日本新型专利第3194117号公报。

实用新型内容

[本实用新型所欲解决的课题]

又，研磨或切划的基板大小分为(各边缘的长度)大、中、小。

例如边缘尺寸分为1500mm×900mm、1300mm×900mm、700mm×650mm 等。

接着于边缘研磨的基板凭借旋转砥石而研磨基板边缘，故以基板边缘突出 (超出)于台(桌台)周边的方式将基板乘载于台上。

又，切划时，必须以凭借转动切割器的切划压而压紧基板边缘的方式将基板乘载于台上。

如此，因以使台尺寸适应基板尺寸的方式对应，故需台的交换作业。

又，除上述点以外，所乘载基板的平面积小于台的平面积时，点状设置于台上面全面的基板抽吸体横方向周边的孔群系无法凭借基板而密闭。

如此则会造成台内吸力降低，系无法保障基板的安定吸力，且伴随研磨的浮游碎屑(脏污等)会吸于未密闭的孔，系造成阻塞的原因。

因此需对应基板尺寸而交换为适应尺寸的台，也即需要交换台。

伴随该交换作业而有机械运作率大幅降低的问题。因此，本实用新型系提供解决上述问题的基板的乘载台。

[用以解决课题的装置]