[实用新型]晶圆加工平台

摘要

本实用新型涉及一种晶圆加工平台，通过第一光栅尺位移传感器与第一直线电机的系统作用来提高运动精度，同时将第一直线电机侧卧在夹具盘与第一底座之间，使得晶圆加工平台的整体尺寸较小结构较紧凑，同时又能够实现较高精度的位移。具体地，侧卧的第一直线电机的动子和定子根据第一光栅尺位移传感器实施反馈的位置信息而发生相对运动，既结合了直线电机运动精度高的特点，也应用了光栅尺位移传感器实施反馈位置检测精度较高的特点，从而整体上以较小结构尺寸实现了较高的位移精度和加速度要求。

主权项

1.一种晶圆加工平台，其特征在于，包括第一底座、第二底座、第一光栅尺位移传感器、第一直线电机和夹具盘，所述夹具盘与所述第一底座滑动连接，所述第一直线电机侧卧在所述夹具盘与所述第一底座之间，所述第一直线电机与所述第一光栅尺位移传感器配合，用于驱动所述夹具盘相对于所述第一底座在第一方向上移动，所述第一底座与所述第二底座滑动连接，所述第一底座能够相对于所述第二底座在第二方向上移动，所述第一直线电机的动子和定子依次沿第二方向分布。