[实用新型]辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201821181164.9 申请日: 2018-07-24
公开(公告)号: CN208949401U 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 曾鉴;张亦瞳 申请(专利权)人: 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 刘葛
地址: 100176 北京市大兴区北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备。辊道调整机构包括关节轴承和调整结构,关节轴承的外圈能够设置于第一支座内,关节轴承的内圈能够支撑辊道的第一辊颈。调整结构能够设置于第二支座内,调整结构能够支撑辊道的第二辊颈。上述辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备中,调整结构能够调整辊道靠近第二辊颈一端的位置,关节轴承能够与调整结构相配合。关节轴承与调整结构相配合不仅能够消除辊道的安装位置与设计位置存在的偏差,提高产品镀膜的均匀性,还能保证位置调整后的辊道仍然具有良好的连接、配合关系,进而提高辊道的使用寿命。
搜索关键词: 辊道 调整结构 关节轴承 调整机构 真空镀膜设备 辊颈 支撑辊道 本实用新型 配合关系 设计位置 使用寿命 位置调整 调整辊 均匀性 镀膜 内圈 配合 保证
【主权项】:
1.一种辊道调整机构,其特征在于,包括:关节轴承(100),所述关节轴承(100)的外圈设置于第一支座(80),所述关节轴承(100)的内圈支撑辊道(600)的第一辊颈(610);调整结构(400),所述调整结构(400)设置于第二支座(90),且所述调整结构(400)可调节支撑辊道(600)的第二辊颈(620)。
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