[实用新型]辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种辊道调整机构，其特征在于，包括：

关节轴承(100)，所述关节轴承(100)的外圈设置于第一支座(80)，所述关节轴承(100)的内圈支撑辊道(600)的第一辊颈(610)；

调整结构(400)，所述调整结构(400)设置于第二支座(90)，且所述调整结构(400)可调节支撑辊道(600)的第二辊颈(620)。

2.根据权利要求1所述的辊道调整机构，其特征在于，所述调整结构(400)包括：

可调轴套(410)，所述可调轴套(410)套设于辊道(600)的第二辊颈(620)；

紧固调整板(420)，所述紧固调整板(420)呈环状，所述紧固调整板(420)套设于所述可调轴套(410)的外周缘，且所述紧固调整板(420)设置于第二支座(90)；

两个第一调整螺栓(430)，两个所述第一调整螺栓(430)分别与所述紧固调整板(420)的上下两端螺纹连接，两个所述第一调整螺栓(430)远离螺帽的一端分别与所述可调轴套(410)的上下端面抵接。

3.根据权利要求2所述的辊道调整机构，其特征在于，所述调整结构(400)还包括：

连接板(440)，所述连接板(440)具有水平方向上相对的左右两端，所述紧固调整板(420)设置于所述连接板(440)水平方向上相对的左右两端之间，且所述连接板(440)设置于第二支座(90)；

两个第二调整螺栓(450)，两个所述第二调整螺栓(450)分别与所述连接板(440)水平方向上相对的左右两端螺纹连接，两个所述第二调整螺栓(450)远离螺帽的一端分别与所述紧固调整板(420)的左右两端面抵接。

4.根据权利要求2所述的辊道调整机构，其特征在于，还包括第二滚动轴承(500)，所述第二滚动轴承(500)的内圈套设于辊道(600)的第二辊颈(620)，所述第二滚动轴承(500)的外圈固定设置于所述可调轴套(410)内。

5.根据权利要求1所述的辊道调整机构，其特征在于，所述辊道调整机构(20)还包括紧固套(200)，所述紧固套(200)包括上紧固套(210)、下紧固套(220)和紧固螺栓(230)；所述上紧固套(210)和所述下紧固套(220)配合套设于所述关节轴承(100)的外圈，所述上紧固套(210)和所述下紧固套(220)通过所述紧固螺栓(230)固定连接；所述紧固套(200)设置于第一支座(80)。

6.根据权利要求1所述的辊道调整机构，其特征在于，所述辊道调整机构(20)还包括第一滚动轴承(300)，所述第一滚动轴承(300)的内圈套设于辊道(600)的第一辊颈(610)，所述第一滚动轴承(300)的外圈与所述关节轴承(100)的内圈固定连接。

7.一种辊道组件，其特征在于，所述辊道组件(10)包括辊道(600)和辊道调整机构，所述辊道调整机构为权利要求1-6任一项所述的辊道调整机构(20)，所述辊道(600)延伸方向的两端分别具有第一辊颈(610)和第二辊颈(620)，所述第一辊颈(610)转动设置于第一支座(80)，所述第二辊颈(620)转动设置于所述第二支座(90)。

8.根据权利要求7所述的辊道组件，其特征在于，所述辊道组件(10)还包括驱动结构(700)，所述驱动结构(700)包括电机(710)和联轴器(720)；所述辊道(600)靠近所述第一辊颈(610)的一端还具有连接头(630)，所述电机(710)的输出端通过所述联轴器(720)与所述连接头(630)传动连接。