[实用新型]辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备有效
申请号: | 201821181164.9 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN208949401U | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 曾鉴;张亦瞳 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 刘葛 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辊道 调整结构 关节轴承 调整机构 真空镀膜设备 辊颈 支撑辊道 本实用新型 配合关系 设计位置 使用寿命 位置调整 调整辊 均匀性 镀膜 内圈 配合 保证 | ||
本实用新型涉及一种辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备。辊道调整机构包括关节轴承和调整结构,关节轴承的外圈能够设置于第一支座内,关节轴承的内圈能够支撑辊道的第一辊颈。调整结构能够设置于第二支座内,调整结构能够支撑辊道的第二辊颈。上述辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备中,调整结构能够调整辊道靠近第二辊颈一端的位置,关节轴承能够与调整结构相配合。关节轴承与调整结构相配合不仅能够消除辊道的安装位置与设计位置存在的偏差,提高产品镀膜的均匀性,还能保证位置调整后的辊道仍然具有良好的连接、配合关系,进而提高辊道的使用寿命。
技术领域
本实用新型涉及辊道安装调整装置,特别是涉及辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备。
背景技术
在真空镀膜设备中,辊道的结构设计关系到收放卷的精度和真空镀膜设备运行的稳定性,进而影响产品镀膜的均匀性。因此,辊道的结构设计对于真空镀膜设备的整体精度非常重要。在传统的真空镀膜设备中,由于与辊道相关零部件加工时产生的误差以及辊道安装时产生的误差,最终安装后的辊道位置与设计值存在偏差。安装位置与设计位置存在偏差的辊道会明显降低产品镀膜的均匀性,而若按设计值调整辊道位置会对辊道本身造成损坏从而影响辊道寿命。
实用新型内容
基于此,有必要针对传统的真空镀膜设备中辊道安装不能兼顾镀膜均匀性以及自身寿命的问题,提供一种能够兼顾镀膜均匀性以及辊道寿命的辊道调整机构、辊道组件以及真空镀膜设备。
一种辊道调整机构,包括:
关节轴承,所述关节轴承的外圈能够设置于第一支座,所述关节轴承的内圈能够支撑辊道的第一辊颈;
调整结构,所述调整结构能够设置于第二支座,且所述调整结构能够可调节支撑辊道的第二辊颈。
在其中一个实施例中,所述调整结构包括:
可调轴套,所述可调轴套能够套设于辊道的第二辊颈;
紧固调整板,所述紧固调整板呈环状,所述紧固调整板套设于所述可调轴套的外周缘,且所述紧固调整板能够设置于第二支座;
两个第一调整螺栓,两个所述第一调整螺栓分别与所述紧固调整板的上下两端螺纹连接,两个所述第一调整螺栓远离螺帽的一端分别与所述可调轴套的上下端面抵接。
在其中一个实施例中,所述调整结构还包括:
连接板,所述连接板具有水平方向上相对的左右两端,所述紧固调整板设置于所述连接板水平方向上相对的左右两端之间,且所述连接板能够设置于第二支座;
两个第二调整螺栓,两个所述第二调整螺栓分别与所述连接板水平方向上相对的左右两端螺纹连接,两个所述第二调整螺栓远离螺帽的一端分别与所述紧固调整板的左右两端面抵接。
在其中一个实施例中,所述辊道调整机构还包括第二滚动轴承,所述第二滚动轴承的内圈能够套设于辊道的第二辊颈,所述第二滚动轴承的外圈固定设置于所述可调轴套内。
在其中一个实施例中,所述辊道调整机构还包括紧固套,所述紧固套包括上紧固套、下紧固套和紧固螺栓;所述上紧固套和所述下紧固套配合套设于所述关节轴承的外圈,所述上紧固套和所述下紧固套通过所述紧固螺栓固定连接;所述紧固套能够设置于第一支座。
在其中一个实施例中,所述辊道调整机构还包括第一滚动轴承,所述第一滚动轴承的内圈能够套设于辊道的第一辊颈,所述第一滚动轴承的外圈与所述关节轴承的内圈固定连接。
一种辊道组件,所述辊道组件包括辊道和辊道调整机构,所述辊道调整机构为上述方案任一项所述的辊道调整机构,所述辊道延伸方向的两端分别具有第一辊颈和第二辊颈,所述第一辊颈能够转动设置于第一支座,所述第二辊颈能够转动设置于所述第二支座。
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