[实用新型]构成为微线路的喷盘装置

摘要

本实用新型适用于微线路制备技术领域，提供了一种构成为微线路的喷盘装置，包括有为形成微线路向所有基板喷射蚀刻液并通过真空吸入去除积在所述基板上的所述蚀刻液的第一蚀刻结构、向所述基板喷射包括蚀刻液和气体混合的用二流体进行蚀刻的第二蚀刻结构、只在基板的边缘喷射蚀刻液做部分蚀刻的第三蚀刻结构，根据所述基板移送情况向所述基板间歇性喷射蚀刻液的第四蚀刻结构以及消除废气的废气去除模块。借此，本实用新型能够有效的去除基板上的蚀刻液使蚀刻的多个面形成比较均匀的蚀刻。

主权项

1.一种构成为微线路的喷盘装置，其特征在于，包括有：第一蚀刻结构，设有至少一用于向传输至第一加工位的基板喷射蚀刻液的第一喷嘴架以及至少一用于排出所述基板上的所述蚀刻液的真空吸入模块；第二蚀刻结构，设有至少一用于向传输至第二加工位的所述基板混合喷射所述蚀刻液和气体的二流体的第二喷嘴架；第三蚀刻结构，设有至少一用于向传输至第三加工位的所述基板的边缘部分喷射所述蚀刻液的第三喷嘴架；第四蚀刻结构，设有至少一用于根据所述基板的检测信息向传输至第四加工位的所述基板间歇喷射所述蚀刻液的第四喷嘴架；废气去除模块，用于吸入所述基板上产生的废气并冷却凝缩所述废气以形成回收药液和纯气体；所述废气去除模块包括有用于捕获高压喷射所述蚀刻液时所产生的废气的排气槽、减震器以及电容器；所述减震器和所述电容器连接至外部的洗涤器。